[实用新型]一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备

权利要求书

1.一种晶圆搬运装置，其特征在于：所述晶圆搬运装置（100）包括有晶圆搬运部（20），所述晶圆搬运部（20）包括，

连接于直线导轨（21）的搬运手（22），搬运手（22）沿直线导轨（21）延伸长度小于直线导轨（21）。

2.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆搬运装置（100）还包括晶圆校准部（30），所述晶圆校准部（30）沿直线导轨（21）设置并位于搬运手（22）运动路径下方，使搬运手（22）转移的晶圆能够放置于晶圆校准部（30）。

3.根据权利要求2所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆校准部（30）包括旋转托盘（31）以及扫边器（32），使放置于旋转托盘（31）的晶圆能够通过扫边器（32）检测边沿位置从而获取晶圆的中心位置。

4.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆搬运部（20）还包括上侧搬运部（221），所述上侧搬运部（221）连接于限位导轨（211），所述限位导轨（211）延伸方向与直线导轨（21）一致。

5.根据权利要求4所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述限位导轨（211）与直线导轨（21）沿水平方向相互背离设置。

6.根据权利要求1所述的晶圆搬运装置，其特征在于：

所述晶圆搬运装置（100）连接于升降导轨（40），用于实现晶圆搬运装置（100）沿不同位置高度的转移晶圆。

7.一种晶圆检测设备，其特征在于：所述晶圆检测设备（200）设置有上述权利要求1-6任意一项所述晶圆搬运装置（100），

所述晶圆检测设备（200）还包括堆叠料架（300），所述叠料架（300）沿竖直方向排布有多个置放晶圆的料盒（201）。

8.根据权利要求7所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述堆叠料架（300）设置有限位部（301），用于放置料盒（201）；所述限位部（301）设置有沿水平方向的切换导轨，使料盒（201）能够在竖直方向错开。

9.根据权利要求8所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述限位部（301）能够放置多个料盒（201）。

10.根据权利要求7所述的晶圆检测设备，其特征在于：所述晶圆检测设备（200）为自动光学检测设备，用于对晶圆的外观进行光学检测。