[实用新型]一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备

说明书

本实用新型公开了一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备。一种晶圆搬运装置包括有晶圆搬运部，所述晶圆搬运部包括，连接于直线导轨的搬运手，搬运手沿直线导轨延伸长度小于直线导轨。在直线导轨限定的基础上不会增加搬运手复位占用的空间，从而减小晶圆搬运装置占用空间，提升晶圆检测效率；且所述搬运手沿直线导轨延伸，通过直线导轨限定搬运手运动方向及行程范围，便于通过直线导轨的延伸方向提升搬运手运动方向及范围，减少使用人员的错误操作，增加安全性。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆搬运装置及晶圆检测设备。

背景技术

晶圆测试效率对降低晶圆生产晶粒成本影响很大，当前提升晶圆测试效率的技术方向中，其中之一便是提高供料效率，减少因供料（特别是更换料盒）占用的时间。

实用新型内容

为提升晶圆测试效率，本实用新型提出一种晶圆搬运装置及晶圆检测设。

本实用新型的技术方案为：一种晶圆搬运装置包括有晶圆搬运部，所述晶圆搬运部包括，连接于直线导轨的搬运手，搬运手沿直线导轨延伸长度小于直线导轨。

进一步的，所述晶圆搬运装置还包括晶圆校准部，所述晶圆校准部沿直线导轨设置并位于搬运手运动路径下方，使搬运手转移的晶圆能够放置于晶圆校准部。

进一步的，所述晶圆校准部包括旋转托盘以及扫边器，使放置于旋转托盘的晶圆能够通过扫边器检测边沿位置从而获取晶圆的中心位置。

进一步的，所述晶圆搬运部还包括上侧搬运部，所述上侧搬运部连接于限位导轨，所述限位导轨延伸方向与直线导轨一致。

进一步的，所述限位导轨与直线导轨沿水平方向相互背离设置。

进一步的，所述晶圆搬运装置连接于升降导轨，用于实现晶圆搬运装置沿不同位置高度的转移晶圆。

一种晶圆检测设备，设置有上述晶圆搬运装置，

所述晶圆检测设备还包括堆叠料架，所述叠料架沿竖直方向排布有多个置放晶圆的料盒。

进一步的，所述堆叠料架设置有限位部，用于放置料盒；所述限位部设置有沿水平方向的切换导轨，使料盒能够在竖直方向错开。

进一步的，所述限位部能够放置多个料盒。

进一步的，所述晶圆检测设备为自动光学检测设备，用于对晶圆的外观进行光学检测。

本实用新型的有益效果在于：在直线导轨限定的基础上不会增加搬运手复位占用的空间，从而减小晶圆搬运装置占用空间，提升晶圆检测效率；且所述搬运手沿直线导轨延伸，通过直线导轨限定搬运手运动方向及行程范围，便于通过直线导轨的延伸方向提升搬运手运动方向及范围，减少使用人员的错误操作，增加安全性。

附图说明

图1为本实用新型晶圆搬运装置结构示意图；

图2为本实用新型晶圆搬运部结构示意图；

图3为本实用新型晶圆校准部结构示意图；

图4为本实用新型晶圆检测设备结构示意图；

图5为本实用新型限位部结构示意图。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1和图2所示，一种晶圆搬运装置100包括有晶圆搬运部20，包括，