[实用新型]一种硼扩散炉的炉口双密封装置

权利要求书

1.一种硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，包括：炉门(1)、炉管(2)和石英环(3)；所述炉管(2)为一端开口的管状结构，且炉管(2)的开口端外周与石英环(3)内侧连接，炉管(2)与石英环(3)形成一体结构；所述石英环(3)的外轮廓呈阶梯形，所述炉门(1)的内侧呈凹形，且炉门(1)内侧设有双层密封结构，所述石英环(3)与炉门(1)嵌套连接，以实现硼扩散炉的炉口密封。

2.根据权利要求1所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述石英环(3)内部设有阶梯状的环形冷却腔体(32)，所述石英环(3)侧部设有冷却介质出入口(5)，冷却介质出入口(5)与冷却腔体(32)连通，由冷却介质出入口(5)向冷却腔体(32)中通入冷却介质，用于实现硼扩散炉的炉口降温。

3.根据权利要求2所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述冷却介质出入口(5)包括冷却介质入口(51)和冷却介质出口(52)，所述冷却腔体(32)中设有导流块(6)，所述导流块(6)位于冷却介质入口(51)和冷却介质出口(52)之间。

4.根据权利要求2所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述冷却腔体(32)中通入气体介质或液体介质进行冷却。

5.根据权利要求1所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述双层密封结构包括密封圈(4)，所述密封圈(4)包括外密封圈(41)和内密封圈(42)。

6.根据权利要求5所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述外密封圈(41)和内密封圈(42)与石英环(3)的阶梯形外壁相抵，以实现炉口密封。

7.根据权利要求5所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述外密封圈(41)和内密封圈(42)均采用橡胶或硅胶或聚四氟乙烯材料制备得到。

8.根据权利要求5所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述炉门(1)上设有第一凹槽(13)和第二凹槽(14)，所述第一凹槽(13)用于固定安装外密封圈(41)，所述第二凹槽(14)用于固定安装内密封圈(42)。

9.根据权利要求8所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，所述第一凹槽(13)和第二凹槽(14)均为环形结构。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的硼扩散炉的炉口双密封装置，其特征在于，石英环(3)与炉管(2)一体成型，或，炉管(2)的开口端外周与石英环(3)内侧焊接。