[实用新型]一种硼扩散炉的炉口双密封装置

说明书

本实用新型公开了一种硼扩散炉的炉口双密封装置，包括：炉门、炉管和石英环；所述炉管为一端开口的管状结构，且炉管的开口端外周与石英环内侧密封连接，炉管与石英环形成一体结构；所述石英环的外轮廓呈阶梯形，所述炉门的内侧呈凹形，且炉门内侧设有双层密封结构，所述石英环与炉门嵌套连接，以实现硼扩散炉的炉口密封。本实用新型的炉口双密封装置具有结构紧凑、安装便捷、密封效果显著且密封圈使用寿命长等优点，提高了反应室内的密封可靠性，降低了设备运行和维护的成本。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池和半导体装备技术领域，具体涉及一种硼扩散炉的炉口双密封装置。

背景技术

太阳能电池发电是一种绿色环保的发电模式，且高效率的电池一直是光伏行业追求的目标。近年来，高效电池技术不断发展，由BSF电池，到Perc电池，再到目前N型Topcon电池。随着技术革新，传统P型硅片基底磷扩散结逐渐转变成N型硅片基底硼扩散结。伴随着硼扩技术的成熟和市场的扩大，硼扩散工艺的高温特性也带来诸多的问题，首当其冲的是高温炉口密封圈的承受能力。

现有技术中的炉口密封装置，石英管的管口呈直筒状结构，炉门则设置为扁平的面板结构，多数是靠炉门上的单层密封圈与石英管的挤压，依靠密封圈的自身变形达到密封的目的，无法满足高温条件下的密封要求，因此，加强扩散炉炉口的密封性非常必要。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、安装便捷、密封效果显著且密封圈使用寿命长的硼扩散炉的炉口双密封装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种硼扩散炉的炉口双密封装置，包括：炉门、炉管和石英环；所述炉管为一端开口的管状结构，且炉管的开口端外周与石英环内侧连接，炉管与石英环形成一体结构；所述石英环的外轮廓呈阶梯形，所述炉门的内侧呈凹形，且炉门内侧设有双层密封结构，所述石英环与炉门嵌套连接，以实现硼扩散炉的炉口密封。

作为本实用新型的进一步改进，所述石英环内部设有阶梯状的环形冷却腔体，所述石英环侧部设有冷却介质出入口，冷却介质出入口与冷却腔体连通，由冷却介质出入口向冷却腔体中通入冷却介质，用于实现硼扩散炉的炉口降温。

作为本实用新型的进一步改进，所述冷却介质出入口包括冷却介质入口和冷却介质出口，所述冷却腔体中设有导流块，所述导流块位于冷却介质入口和冷却介质出口之间。

作为本实用新型的进一步改进，所述冷却腔体中通入气体介质或液体介质进行冷却。

作为本实用新型的进一步改进，所述双层密封结构包括密封圈，所述密封圈包括外密封圈和内密封圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述外密封圈和内密封圈与石英环的阶梯形外壁相抵，以实现炉口密封。

作为本实用新型的进一步改进，所述外密封圈和内密封圈均采用橡胶或硅胶或聚四氟乙烯材料制备得到。

作为本实用新型的进一步改进，所述炉门上设有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽用于固定安装外密封圈，所述第二凹槽用于固定安装内密封圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一凹槽和第二凹槽均为环形结构。

作为本实用新型的进一步改进，炉管的开口端外周与石英环内侧焊接，或石英环与炉管一体成型。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：