[实用新型]具有波浪纹路抗反射层的基板有效
| 申请号： | 202220783879.1 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN217543429U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 许铭案 | 申请（专利权）人： | 许铭案 |
| 主分类号： | G02B1/118 | 分类号： | G02B1/118;G02B1/12;G02F1/1335;G03F7/40;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 周鹤 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 波浪 纹路 反射层 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有波浪纹路抗反射层的基板，其特征在于，包含：
一基板；及
一负型光阻层，永久形成于该基板上，该负型光阻层的上表面具有一波浪纹路结构，且该波浪纹路结构的波峰与波谷之间的高度差介于0.5至3微米之间，该波浪纹路结构的波峰与相邻波峰间的水平向间距介于3至30微米之间。
2.根据权利要求1所述的具有波浪纹路抗反射层的基板，其特征在于，该负型光阻层的厚度介于2至40微米之间。
3.根据权利要求2所述的具有波浪纹路抗反射层的基板，其特征在于，该厚度介于2至5微米之间。
4.根据权利要求1所述的具有波浪纹路抗反射层的基板，其特征在于，该高度差介于1.3至1.8微米之间。
5.根据权利要求1所述的具有波浪纹路抗反射层的基板，其特征在于，该水平向间距介于5至15微米之间。
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