[实用新型]作用于MEMS传感器的多功能老化装置

权利要求书

1.一种作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述装置包括：通电老化电路、底座和气体容器，待老化传感器经所述底座与所述通电老化电路连接，所述底座和所述待老化传感器置于所述气体容器内。

2.如权利要求1所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述气体容器采用玻璃容器，玻璃容器的上端、下端分别设有进气口、出气口，所述进气口连接进气管道，所述出气口连接排气管道。

3.如权利要求1所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述通电老化电路包括主控板、电源模块和输出模块，所述电源模块的输出分别与所述主控板和所述输出模块连接，所述主控板的输出经所述输出模块与所述底座连接；

所述主控板的输入连接有温度传感器。

4.如权利要求3所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述电源模块包括交流电源和开关电源，所述交流电源的输出经开关按键与所述开关电源连接，所述开关电源采用12V5V双输出模式的交流直流转换器，所述开关电源包括12V供电端和5V供电端，所述12V供电端与所述输出模块连接，所述5V供电端与所述主控板连接。

5.如权利要求4所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述主控板包括单片机、晶振电路和复位电路，所述复位电路和所述晶振电路均与所述单片机连接。

6.如权利要求5所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，在所述单片机采用3.3V供电方式时，所述5V供电端经线性稳压芯片与所述单片机连接。

7.如权利要求5所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述单片机的I/O接口经电阻连接三极管的基极，所述三极管的集电极连接报警模块、发射极接地。

8.如权利要求4所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述输出模块包括光耦晶体管和PWM信号转模拟信号芯片，所述12V供电端与所述光耦晶体管的输入引脚连接，所述光耦晶体管的输出引脚连接所述PWM信号转模拟信号芯片的PWM引脚，所述PWM信号转模拟信号芯片的电压输出引脚连接所述底座。

9.如权利要求5所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述单片机的GPIO口连接有按键。

10.如权利要求3所述的作用于MEMS传感器的多功能老化装置，其特征在于，所述主控板还连接有显示屏。