[实用新型]作用于MEMS传感器的多功能老化装置

说明书

本实用新型公开一种作用于MEMS传感器的多功能老化装置，属于电子技术领域，包括通电老化电路、底座和气体容器，待老化传感器经底座与通电老化电路连接，底座和待老化传感器置于气体容器内。本实用新型通电老化电路经底座与待老化的传感器连接，用于对传感器通电，使传感器运行老化；通电运行一段时间后，通过向气体容器中打入一定种类和浓度的气体，模拟实际应用场景，测试老化过后的MEMS传感器是否符合使用人员要求。因此，该老化装置是一种具有老化模式和测试模式的多功能老化装置。

技术领域

本实用新型涉及电子技术领域，具体涉及一种作用于MEMS传感器的多功能老化装置。

背景技术

随着人们对环保问题的关注度越来越高，开始对各种有毒有害气体物质的检测提出了更高的要求。气体传感器是一种能够检测特定气体成分的传感器。它可以检测和测量气体中的特定成分，并通过转换为电信号对其进行输出和分析。首例气体传感器应用于易燃易爆气体泄漏预警场景，保障安全生产和人身安全。在德国、英国、美国、日本等工业发达国家，气体传感器技术迅速发展成为品种齐全、技术完备的重大科技产业。如今的气体传感器越来越普及，在大气污染监测、国防、工业、医学检测和食品安全等领域具有非常广泛的应用价值。

气体传感器根据分析方法和检测方法的不同，主要分为半导体式、热传导式、电化学式、光学式、接触燃烧式、化学反应式等。其中，半导体气体检测器件因其灵敏度高、响应速度快、体积小、重量轻、易于与硅材料半导体工艺兼容等优点而受到人们的青睐。性能和与硅工艺的兼容正逐渐在工业应用中占据领先地位。20世纪初，人们发现当气体吸附在半导体金属氧化物表面时，半导体材料的表面电阻发生变化，推动了金属氧化物半导体(Metal-Oxide-Semiconductor，MOS)作为气体传感器的应用。随着科学技术的不断发展，人们对气体传感器提出了更高的要求。为了实现更强的响应、更高的选择性、更小的尺寸、更高的灵敏度、更低的功耗和易于集成，人们在气体传感器的设计过程中使用了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)。同时，随着丝网印刷技术的快速发展和应用，使微型气敏材料的印刷成为可能，从而推动MEMS气敏传感器走上了工业化生产的道路。

MEMS气敏传感器寿命长，长期重现性好，但首次使用重现性较差。MEMS气敏传感器经过冷置存放后，通电时传感器内阻急剧下降，然后逐渐增大，直至稳定。因此，需要在使用前进行一段时间通电运行，也就是老化。市场上现有的解决方案是连接固定电路，通过恒定电压对传感器进行老化处理，存在的缺陷在于：(1)仅具有老化模式，无法测试当前传感器的性能；(2)无法调整老化时间，长时间的老化会对传感器的性能产生影响，减少MEMS传感器使用寿命。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于如何实现对MEMS传感器的老化以及对老化过后的MEMS传感器进行测试。

本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

提出了一种作用于MEMS传感器的多功能老化装置，所述装置包括：通电老化电路、底座和气体容器，待老化传感器经所述底座与所述通电老化电路连接，所述底座和所述待老化传感器置于所述气体容器内。

本实用新型中的多功能老化装置包括通电老化电路、底座和气体容器，通电老化电路经底座与待老化的传感器连接，用于对传感器通电，使传感器运行老化；同时传感器和底座置于气体容器内，通过向气体容器中打入一定种类和浓度的气体，从而形成动态环境，更加真实地模拟实际应用场景，以测试老化过后的MEMS传感器是否符合使用人员要求。因此，该作用于MEMS传感器的老化装置是一种具有老化模式和测试模式的多功能老化装置。

进一步地，所述气体容器采用玻璃容器，玻璃容器的上端、下端分别设有进气口、出气口，所述进气口连接进气管道，所述出气口连接排气管道。

进一步地，所述通电老化电路包括主控板、电源模块和输出模块，所述电源模块的输出分别与所述主控板和所述输出模块连接，所述主控板的输出经所述输出模块与所述底座连接；