[实用新型]一种晶圆料盒智能存储柜

权利要求书

1.一种晶圆料盒智能存储柜，其特征在于：包括存储柜本体，存储柜本体内具有储物腔，所述储物腔内设置有储物架，所述储物架上具有若干个用于存储晶圆料盒的存储区间，所述储物腔的侧面连接有氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件；

所述氮气进气组件包括氮气进气阀、第一氮气进气管和第二氮气进气管，所述第一氮气进气管连接在所述氮气进气阀的输出端，所述氮气进气阀的输入端与氮气气源连接，所述第二氮气进气管与所述第一氮气进气管连接，所述第二氮气进气管与所述储物腔连通；

所述换气组件包括换气管和换气阀，所述换气管的一端与所述储物腔连通，所述换气管的另一端与所述换气阀连接；

所述氮气出气组件包括第一氮气排气管、氮气排气阀、氮气排气泵和第二氮气排气管，所述第一氮气排气管与所述储物腔连通，所述氮气排气阀的输入端与所述第一氮气排气管连接，氮气排气阀的输出端与所述氮气排气泵连接，所述第二氮气排气管与所述氮气排气泵连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆料盒智能存储柜，其特征在于：还包括设置在所述存储柜本体侧面的设置有用于将晶圆料盒输送至存储区间的上下料装置，所述上下料装置还用于将存储区间的晶圆料盒导出，所述上下料装置包括输送带，输送带的一侧设置有转移小车，所述转移小车的高度高于或等于所述输送带的高度。

3.根据权利要求1所述的晶圆料盒智能存储柜，其特征在于：所述储物腔内设置有氮气浓度检测仪、温度计、湿度仪和压力表，所述氮气浓度检测仪、温度计、湿度仪和压力表均与控制器信号连接，所述控制器连接有触控式显示器，所述触控式显示器连接在所述存储柜本体的外侧壁，所述触控式显示器用于显示气浓度检测仪、温度计、湿度仪和压力表的检测结果，所述触控式显示器通过人机交互接口与控制器连接以向所述控制器输入控制指令。

4.根据权利要求3所述的晶圆料盒智能存储柜，其特征在于：所述氮气进气阀、换气阀和所述氮气排气阀均为电磁阀，所述电磁阀和所述氮气排气泵均与所述控制器信号连接。

5.根据权利要求1所述的晶圆料盒智能存储柜，其特征在于：所述氮气排气泵为离心泵。