[实用新型]一种晶圆料盒智能存储柜

说明书

本实用新型涉及的一种晶圆料盒智能存储柜，包括存储柜本体，存储柜本体内具有储物腔，所述储物腔内设置有储物架，所述储物架上具有若干个用于存储晶圆料盒的存储区间，所述储物腔的侧面连接有氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件。本实用新型的有益效果是：通过氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件的设置，能够快速完成储物腔中氮气的换气，为晶圆构建出良好的存储环境，通过氮气浓度检测仪对储物腔中的氮气含量进行实时监测，在监测到储物腔中的氮气含量低于设定阈值时，能够通过连接在控制器的报警装置及时发出报警，降低存储在储物腔中的晶圆受损的几率。

技术领域

本实用新型涉及了晶圆器件存储技术领域，具体的是一种晶圆料盒智能存储柜。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。现有技术中的晶圆保存一般采用真空保存或多个独立的容器充入氮气进行保存，缺乏能够对晶圆进行大批量保存的存储柜，无法满足实际的存储需求。

发明内容

为了克服现有技术中的至少部分缺陷，本实用新型实施例提供了一种晶圆料盒智能存储柜，结构简单，能够为晶圆提供可靠的存储环境。

本实用新型涉及的一种晶圆料盒智能存储柜，包括存储柜本体，存储柜本体内具有储物腔，所述储物腔内设置有储物架，所述储物架上具有若干个用于存储晶圆料盒的存储区间，所述储物腔的侧面连接有氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件；

所述氮气进气组件包括氮气进气阀、第一氮气进气管和第二氮气进气管，所述第一氮气进气管连接在所述氮气进气阀的输出端，所述氮气进气阀的输入端与氮气气源连接，所述第二氮气进气管与所述第一氮气进气管连接，所述第二氮气进气管与所述储物腔连通；

所述换气组件包括换气管和换气阀，所述换气管的一端与所述储物腔连通，所述换气管的另一端与所述换气阀连接；

所述氮气出气组件包括第一氮气排气管、氮气排气阀、氮气排气泵和第二氮气排气管，所述第一氮气排气管与所述储物腔连通，所述氮气排气阀的输入端与所述第一氮气排气管连接，氮气排气阀的输出端与所述氮气排气泵连接，所述第二氮气排气管与所述氮气排气泵连接。

进一步地，还包括设置在所述存储柜本体侧面的设置有用于将晶圆料盒输送至存储区间的上下料装置，所述上下料装置还用于将存储区间的晶圆料盒导出，所述上下料装置包括输送带，输送带的一侧设置有转移小车，所述转移小车的高度高于或等于所述输送带的高度。

进一步地，所述储物腔内设置有氮气浓度检测仪、温度计、湿度仪和压力表，所述氮气浓度检测仪、温度计、湿度仪和压力表均与控制器信号连接，所述控制器连接有触控式显示器，所述触控式显示器连接在所述存储柜本体的外侧壁，所述触控式显示器用于显示气浓度检测仪、温度计、湿度仪和压力表的检测结果，所述触控式显示器通过人机交互接口与控制器连接以向所述控制器输入控制指令。

进一步地，所述氮气进气阀、换气阀和所述氮气排气阀均为电磁阀，所述电磁阀和所述氮气排气泵均与所述控制器信号连接。

进一步地，所述氮气排气泵为离心泵。

本实用新型的有益之处在于：通过氮气进气组件、换气组件和氮气出气组件的设置，能够快速完成储物腔中氮气的换气，为晶圆构建出良好的存储环境，通过氮气浓度检测仪对储物腔中的氮气含量进行实时监测，在监测到储物腔中的氮气含量低于设定阈值时，能够通过连接在控制器的报警装置及时发出报警，降低存储在储物腔中的晶圆受损的几率；

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

附图说明