[实用新型]一种改善扩散气源分布的工装有效

专利信息
申请号: 202220832851.2 申请日: 2022-04-12
公开(公告)号: CN217127605U 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 张灿阳;李娴;季文鹏;刘晓;黄智;汤尧 申请(专利权)人: 湖北台基半导体股份有限公司
主分类号: C30B31/16 分类号: C30B31/16;H01L21/67
代理公司: 襄阳嘉琛知识产权事务所 42217 代理人: 严崇姚
地址: 441021 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 改善 扩散 分布 工装
【权利要求书】:

1.一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:由散流套件和阻流套件构成;所述散流套件由散流承载舟(7)及间隔设置在散流承载舟(7)上的聚气片(1)、分流片(2)和散流片(3)构成;所述阻流套件由阻流承载舟(8)及间隔设置在阻流承载舟(8)上的集气片(4)、过渡片(5)和阻流片(6)构成;所述聚气片(1)、分流片(2)、散流片(3)、集气片(4)、过渡片(5)和阻流片(6)上设有通气孔;所述聚气片(1)上的通气孔分布在片中心外扩至半径长度四分之一的范围内;所述分流片(2)上的通气孔分布在片中心外扩至半径长度一半的范围内;所述散流片(3)上的通气孔分布在片中心外扩至半径长度五分之四的范围内;所述集气片(4)上的通气孔分布在片中心外扩至半径长度四分之三的范围内;所述过渡片(5)上的通气孔分布在片中心外扩至半径长度三分之一的范围内;所述阻流片(6)上的通气孔分布在片中心外扩至半径长度五分之一的范围内。

2.根据权利要求1所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的聚气片(1)、分流片(2)、散流片(3)、集气片(4)、过渡片(5)和阻流片(6)均为直径和厚度相同的圆片。

3.根据权利要求2所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的散流承载舟(7)上间隔设置有用于立式放置聚气片(1)、分流片(2)和散流片(3)的弧形槽;所述阻流承载舟(8)上间隔设置有用于立式放置集气片(4)、过渡片(5)和阻流片(6)的弧形槽。

4.根据权利要求3所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的聚气片(1)上的通气孔在片中心外扩至半径长度四分之一的范围内均匀分布;所述分流片(2)上的通气孔在片中心外扩至半径长度一半的范围内均匀分布;所述散流片(3)上的通气孔在片中心外扩至半径长度五分之四的范围内均匀分布;所述集气片(4)上的通气孔在片中心外扩至半径长度四分之三的范围内均匀分布;所述过渡片(5)上的通气孔在片中心外扩至半径长度三分之一的范围内均匀分布;所述阻流片(6)上的通气孔在片中心外扩至半径长度五分之一的范围内均匀分布。

5.根据权利要求4所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的聚气片(1)上的通气孔数量少于分流片(2)上的通气孔数量;所述分流片(2)上的通气孔数量少于散流片(3)上的通气孔数量;所述集气片(4)上的通气孔数量多于过渡片(5)上的通气孔数量;所述过渡片(5)上的通气孔数量多于阻流片(6)上的通气孔数量。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的通气孔为圆形通气孔(10)、三角通气孔(9)和三边以上的多边形通气孔中的一种或多种。

7.根据权利要求6所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的圆形通气孔(10)的直径为0.1-100mm。

8.根据权利要求6所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的三角通气孔(9)的边长为0.1-100mm。

9.根据权利要求6所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的三边以上的多边形通气孔的对角线长为0.1-100mm。

10.根据权利要求6所述的一种改善扩散气源分布的工装,其特征在于:所述的通气孔为圆形通气孔(10)的直径为0.1-100mm,三角通气孔(9)的边长在0.1-100mm之间,三边以上的多边形通气孔的对角线长为0.1-100mm。

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