[实用新型]电气控制柜及半导体工艺设备

权利要求书

1.一种电气控制柜，用于半导体工艺设备，其特征在于，包括柜体、待散热器件、过滤网、清扫件和驱动机构，其中：

所述待散热器件、所述过滤网、所述清扫件和所述驱动机构均设于所述柜体内；

在所述待散热器件的相背两侧中，至少有一侧设有所述过滤网，且所述过滤网与所述待散热器件相对布置；

所述清扫件与所述过滤网一一对应设置，且所述清扫件与所述过滤网相抵接，所述驱动机构与所述清扫件相连，并用于驱动所述清扫件移动，以清扫所述过滤网。

2.根据权利要求1所述的电气控制柜，其特征在于，所述待散热器件的相背两侧均设有所述过滤网和所述清扫件，所述驱动机构包括第一驱动装置和至少两个传动组件，所述传动组件与所述清扫件一一对应相连，所述第一驱动装置用于同步驱动各所述传动组件，以带动各所述清扫件移动。

3.根据权利要求2所述的电气控制柜，其特征在于，所述传动组件包括丝杆和转接块，所述转接块与所述丝杆螺纹配合，所述转接块随所述丝杆的转动而沿所述丝杆移动；所述清扫件与所述转接块相连。

4.根据权利要求3所述的电气控制柜，其特征在于，所述驱动机构还包括同步组件，所述同步组件包括同步带和两个带轮，两个所述带轮分别设于两个所述丝杆，所述带轮随所述丝杆转动，所述同步带套设于两个所述带轮上；所述第一驱动装置与一个所述丝杆驱动相连。

5.根据权利要求1所述的电气控制柜，其特征在于，所述驱动机构用于驱动所述清扫件沿竖直方向移动，所述电气控制柜还包括集尘盒，所述集尘盒设于所述柜体的内底面，沿所述竖直方向，所述过滤网的投影位于所述集尘盒内。

6.根据权利要求1所述的电气控制柜，其特征在于，所述电气控制柜还包括温度传感器，所述温度传感器设于所述清扫件上。

7.根据权利要求1所述的电气控制柜，其特征在于，所述清扫件设于所述待散热器件与所述过滤网之间。

8.根据权利要求1所述的电气控制柜，其特征在于，所述电气控制柜还包括散热风扇，所述散热风扇设于所述过滤网背离所述待散热器件的一侧；所述柜体包括柜主体和挡板，所述柜主体的侧壁对应所述散热风扇的区域设有散热窗，所述挡板用于遮挡所述散热窗，且所述挡板可移动地设于所述柜主体上，以调节所述挡板对所述散热窗的遮挡范围。

9.根据权利要求8所述的电气控制柜，其特征在于，所述柜主体的侧壁设有容纳腔，所述容纳腔与所述散热窗连通，所述挡板可移动地设于所述散热窗和所述容纳腔，所述容纳腔可收容至少部分所述挡板。

10.根据权利要求1所述的电气控制柜，其特征在于，所述柜体的内壁设有第一容纳槽，所述过滤网设于所述第一容纳槽内；所述电气控制柜还包括设于所述柜体内的预紧装置，所述预紧装置被配置为向所述过滤网施加弹性力，以使所述过滤网被抵顶固定于所述第一容纳槽内。

11.根据权利要求10所述的电气控制柜，其特征在于，所述预紧装置包括基座、弹性件和夹持件，所述弹性件的两端分别与所述基座和所述夹持件相连，所述夹持件背离所述弹性件的一端设有第二容纳槽，所述夹持件通过所述第二容纳槽夹持所述过滤网的边缘，所述弹性件被配置为向所述夹持件施加弹性力，以使所述夹持件与所述过滤网相抵接。

12.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括权利要求1至11中任一项所述的电气控制柜。