[实用新型]电气控制柜及半导体工艺设备

说明书

本申请公开一种电气控制柜及半导体工艺设备，所述电气控制柜用于半导体工艺设备，所述电气控制柜包括柜体、待散热器件、过滤网、清扫件和驱动机构，其中：所述待散热器件、所述过滤网、所述清扫件和所述驱动机构均设于所述柜体内；在所述待散热器件的相背两侧中，至少有一侧设有所述过滤网，且所述过滤网与所述待散热器件相对布置；所述清扫件与所述过滤网一一对应设置，且所述清扫件与所述过滤网相抵接，所述驱动机构与所述清扫件相连，并用于驱动所述清扫件移动，以清扫所述过滤网。上述方案能够简化电气控制柜内的过滤网的清洁流程。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电气控制柜及半导体工艺设备。

背景技术

在半导体工艺设备中，电气控制柜包括设于其柜体内的开关装置、测量仪表、保护器件等器件，这些器件在工作中均会产热，从而会导致柜体内温度升高，因此，电气控制柜内设有散热风扇，以将柜体内的热空气导引至外部。同时，为了避免上述器件和散热风扇因积灰而导致散热效果变差，在上述器件与散热风扇之间还设有过滤网。

在相关技术中，过滤网通过多个螺钉固定在柜体内，在清洁过滤网时需要进行拆装柜体和过滤网的操作，由此存在清洁作业繁琐度高、人力成本高的问题。

实用新型内容

本申请公开一种电气控制柜及半导体工艺设备，以简化电气控制柜内的过滤网的清洁流程。

为了解决上述技术问题，本申请采用下述技术方案：

第一方面，本申请提供一种电气控制柜，用于半导体工艺设备，所述电气控制柜包括柜体、待散热器件、过滤网、清扫件和驱动机构，其中：

所述待散热器件、所述过滤网、所述清扫件和所述驱动机构均设于所述柜体内；

在所述待散热器件的相背两侧中，至少有一侧设有所述过滤网，且所述过滤网与所述待散热器件相对布置；

所述清扫件与所述过滤网一一对应设置，且所述清扫件与所述过滤网相抵接，所述驱动机构与所述清扫件相连，并用于驱动所述清扫件移动，以清扫所述过滤网。

第二方面，本申请提供一种半导体工艺设备，包括本申请第一方面所述的电气控制柜。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

在本申请公开的电气控制柜中，通过在柜体内设置清扫件和驱动机构，可定期由驱动机构驱动清扫件对过滤网进行清扫处理，以使过滤网能够长期使用，从而避免了频繁拆装柜体和过滤网，相较于相关技术，本申请的技术方案能够有效简化电气控制柜内的过滤网的清洁流程。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请实施例公开的电气控制柜的结构示意图；

图2为本申请实施例公开的电气控制柜的剖视图(隐藏过滤网)；

图3为本申请实施例公开的柜体的分解结构示意图(隐藏检修门)；

图4为本申请实施例公开的电气控制柜另一视角下的结构示意图(隐藏检修门)；

图5为关于图4中A处的局部放大图。

附图标记说明：

100-柜体、110-柜主体、111-散热窗、112-容纳腔、113-第一容纳槽、114-避让间隙、115-开口、120-挡板、121-滑块、130-检修门、

200-待散热器件、300-过滤网、400-清扫件、