[实用新型]一种可测试密封性的晶圆电镀挂具

权利要求书

1.一种可测试密封性的晶圆电镀挂具，其特征在于，包括主板体和后盖，所述主板体上设有开口，在所述主板体上设有包围所述开口的第一密封圈，晶圆的待电镀面的边部与所述第一密封圈相贴靠，在所述后盖与主板体之间还设有第二密封圈；所述主板体内设有进气通道，所述进气通道的进气口位于挂具上部不接触电镀液的区域，所述进气通道的出气口连通至所述第一密封圈和第二密封圈所形成的封闭空间。

2.根据权利要求1所述的可测试密封性的晶圆电镀挂具，其特征在于，还包括由弹性材质制成的气嘴，所述气嘴安装在所述进气通道的进气口。

3.根据权利要求2所述的可测试密封性的晶圆电镀挂具，其特征在于，所述气嘴内包括相连通的第一气道和第二气道，所述第一气道与主板体内进气通道同轴设置，所述第二气道与主板体表面垂直设置。

4.根据权利要求3所述的可测试密封性的晶圆电镀挂具，其特征在于，所述主板体包括底板和顶板，所述顶板经锁紧件固定安装于所述底板的顶端面上，所述进气通道从所述底板的顶端面向下延伸设置。

5.根据权利要求4所述的可测试密封性的晶圆电镀挂具，其特征在于，所述气嘴包括圆柱体部和方体部，所述底板的顶端设有圆形沉孔和位于圆形沉孔顶端的卡口，所述气嘴的圆柱体部安装于所述底板的圆形沉孔内，所述气嘴的方体部安装于所述卡口内。

6.根据权利要求5所述的可测试密封性的晶圆电镀挂具，其特征在于，所述气嘴的圆柱体部外周设有多道外凸的环体部。

7.根据权利要求5所述的可测试密封性的晶圆电镀挂具，其特征在于，所述气嘴的方体部具有往两侧外凸的耳部，所述底板的卡口处设有与所述耳部相匹配的限位槽。