[实用新型]管道堵塞物清除机构及晶圆生产设备

权利要求书

1.一种管道堵塞物清除机构，其特征在于，包括：

刮削治具，包括沿管道的周向延伸的工作面，所述工作面用于刮除堵塞物，所述刮削治具开设有通孔，所述通孔连通所述刮削治具沿所述管道的轴向的相对两端；

驱动模块，配接于所述刮削治具，所述驱动模块用于驱动所述刮削治具沿所述管道的轴向往复移动。

2.根据权利要求1所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述驱动模块包括驱动组件和传动机构，所述传动机构的相对两端分别传动连接所述驱动组件和所述刮削治具，以使所述驱动组件能够驱动所述传动机构带动所述刮削治具沿所述管道的轴向往复运动。

3.根据权利要求2所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述传动机构包括支架和传动单元，所述支架围成沿一平行于所述管道的轴向方向延伸的传送通道，所述传动单元设置在所述传送通道内。

4.根据权利要求3所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述传送通道靠近所述刮削治具的一侧设有沿平行于所述管道的轴向方向延伸的限位槽。

5.根据权利要求4所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述传动机构还包括挡帘，所述挡帘设在所述支架上并封闭所述限位槽，所述挡帘配置为在外力作用下能够部分开启所述限位槽并能够发生可恢复的变形，以能够自动封闭所述限位槽。

6.根据权利要求4所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述传动单元包括：

两个连接件，间隔地设于所述支架；

齿轮，连接于所述驱动组件的一端；及

传动链，沿平行于所述管道的轴向方向的相对两端分别套设于一个所述连接件，在一垂直于所述管道的轴向方向上，所述传动链形成间隔设置的第一子传动链和第二子传动链，所述第一子传动链啮合于所述齿轮，所述第二子传动链连接所述刮削治具；所述齿轮能够绕垂直于所述管道的轴向方向往复转动，以驱动所述传动链带动所述刮削治具沿所述管道的轴向往复移动。

7.根据权利要求6所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述齿轮驱动所述第一子传动链沿一平行于所述管道的轴向方向传动时，所述第二子传动链沿另一平行于所述管道的轴向方向反向传动，以带动所述刮削治具沿所述管道的轴向移动。

8.根据权利要求6所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述驱动组件固定安装于所述支架，所述驱动组件连接所述齿轮的一端伸入于所述传送通道中，以使所述齿轮收容于所述传送通道中。

9.根据权利要求6所述的管道堵塞物清除机构，其特征在于，所述刮削治具包括刮筒和连接头，所述连接头的一端固设于所述刮筒的外周面，所述连接头远离所述刮筒的一端穿过所述限位槽并连接所述传动链，所述刮筒的两端设有内倒角。

10.一种晶圆生产设备，其特征在于，包括管道和如权利要求1至9中任一权利要求所述的管道堵塞物清除机构，所述管道堵塞物清除机构的刮削治具部分地收容于所述管道内，并能够沿所述管道的内壁作往复直线运动，以刮除堵塞于所述管道内的堵塞物。