[实用新型]一种谐振器和滤波器有效
| 申请号： | 202220865988.8 | 申请日： | 2022-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN217216516U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 王友良;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/05 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 蔡舒野 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 滤波器 | ||
1.一种谐振器，其特征在于，包括：
衬底；
多个布拉格反射支撑柱，在所述衬底的第一表面间隔分布；
底电极，位于所述布拉格反射支撑柱远离所述衬底的一侧；
压电层，位于所述底电极远离所述衬底的一侧；
顶电极，位于所述压电层远离所述底电极的一侧。
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述衬底的第一表面包括凹槽；
所述布拉格反射支撑柱位于所述凹槽内；
所述布拉格反射支撑柱的厚度与所述凹槽的深度相同。
3.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，还包括环状布拉格支撑层；
所述环状布拉格支撑层位于谐振区的边缘且环绕所述布拉格反射支撑柱；
所述环状布拉格支撑层的厚度与所述布拉格反射支撑柱的厚度相同；
所述环状布拉格支撑层的膜层结构与所述布拉格反射支撑柱的膜层结构相同。
4.根据权利要求1、2或3所述的谐振器，其特征在于，还包括保护层；
所述保护层覆盖所述布拉格反射支撑柱。
5.根据权利要求4所述的谐振器，其特征在于，所述保护层的厚度范围包括0.2μm～1μm。
6.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，还包括温度补偿层；
所述温度补偿层位于所述布拉格反射支撑柱临近所述衬底的一侧或临近所述底电极的一侧。
7.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述布拉格反射支撑柱在所述衬底上的垂直投影的形状包括圆形、椭圆形、月牙形和多边形中的任意一种，或者圆形、椭圆形、月牙形和多边形中的至少两种组合。
8.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述布拉格反射支撑柱的厚度大于1.5μm。
9.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述布拉格反射支撑柱均匀分布在所述衬底的第一表面上。
10.一种滤波器，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的谐振器。
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