[实用新型]一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘有效
| 申请号： | 202220920786.9 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN217881429U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张洋洋;丁建峰;王刚;潘晓忠;姚志炎 | 申请（专利权）人： | 徐州美兴光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 张入文 |
| 地址： | 221122 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 干法刻 led 图形 蓝宝石 衬底 复合 托盘 | ||
1.一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，包括底座(1)、支柱(2)、盘体(3)和宝石本体(4)，其特征在于：还包括固定装置(5)，所述支柱(2)与底座(1)的表面固定连接，所述盘体(3)与支柱(2)的表面固定连接，所述宝石本体(4)放置在盘体(3)内壁，所述固定装置(5)设置在支柱(2)表面，所述固定装置(5)包括齿杆(51)，所述齿杆(51)与支柱(2)的内壁滑动连接，所述齿杆(51)的表面固定连接有固定杆(52)，所述固定杆(52)的两端均固定连接有卡块(53)，所述卡块(53)与宝石本体(4)的表面插设连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，其特征在于：所述支柱(2)的表面转动连接有转动杆(54)，所述转动杆(54)的表面固定连接有齿轮(55)，所述齿轮(55)与齿杆(51)的表面啮合连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，其特征在于：所述支柱(2)的表面固定连接有固定块(56)，所述固定块(56)的内壁滑动连接有插销(57)，所述插销(57)与齿杆(51)的表面插设连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，其特征在于：所述插销(57)的表面固定连接有拉块(58)，所述拉块(58)的表面固定连接有固定弹簧(59)，所述固定弹簧(59)远离拉块(58)的一端与固定块(56)的表面固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，其特征在于：所述支柱(2)的表面设置有支撑装置(6)，所述支撑装置(6)包括安装块(61)，所述安装块(61)的表面转动连接有套杆(62)，所述套杆(62)的内壁滑动连接有支撑杆(63)，所述支撑杆(63)远离套杆(62)的一端转动连接有转块(64)。
6.根据权利要求5所述的一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，其特征在于：所述转块(64)的表面固定连接有底板(65)，所述底板(65)与底座(1)对齐设置，所述套杆(62)的表面固定连接有稳固弹簧(66)，所述稳固弹簧(66)的表面固定连接有滑杆(67)。
7.根据权利要求6所述的一种用于干法刻LED图形化蓝宝石衬底的复合托盘，其特征在于：所述滑杆(67)与套杆(62)的内壁滑动连接，所述滑杆(67)远离稳固弹簧(66)的一端固定连接有拉杆(68)，所述拉杆(68)的表面固定连接有插杆(69)，所述插杆(69)与支撑杆(63)的表面插设连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
