[实用新型]一种循环式半导体设备超声清洗机构

说明书

本实用新型公开了一种循环式半导体设备超声清洗机构，包括壳体，所述壳体的两侧内壁均开设有两个滑槽，滑槽内活动连接有清洗盒，清洗盒的底部外壁固定连接有多个拉簧，且拉簧与壳体相固定，所述清洗盒的一侧外壁固定连接有齿条，所述壳体的一侧外壁固定连接有电机，且电机输出轴的一端穿过壳体并固定连接有缺齿轮，且缺齿轮与齿条相啮合，所述壳体的一侧内壁固定连接有固定块。本实用新型不仅能够通过齿条和缺齿轮的配合使用，使清洗盒内的物体得到充分清洗，提高了装置的清洗效果，而且能够通过拨杆使U型管道带动喷头上下摆动，提高了装置的使用效果，还能够通过导向杆对清洗盒进行导向，提高了装置的导向效果。

技术领域

本实用新型涉及超声清洗技术领域，尤其涉及一种循环式半导体设备超声清洗机构。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品都和半导体有着极为密切的关联，其中便有利用半导体制作的超声清洗设备。

超声清洗是利用超声波在液体中的空化作用对物体进行清洗，目前常用的超声清洗装置通常采用单一的超声波进行清洗，由于清洗装置一般较大，容易出现超声清洗不全面的情况，因此，提出一种循环式半导体设备超声清洗机构显得非常必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种循环式半导体设备超声清洗机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种循环式半导体设备超声清洗机构，包括壳体，所述壳体的两侧内壁均开设有两个滑槽，滑槽内活动连接有清洗盒，清洗盒的底部外壁固定连接有多个拉簧，且拉簧与壳体相固定，所述清洗盒的一侧外壁固定连接有齿条，所述壳体的一侧外壁固定连接有电机，且电机输出轴的一端穿过壳体并固定连接有缺齿轮，且缺齿轮与齿条相啮合，所述壳体的一侧内壁固定连接有固定块，固定块的一侧活动连接有U型管道，U型管道的底部固定连接有多个喷头，所述U型管道的一侧外壁活动连接有扭簧，且扭簧的两端分别与U型管道和固定块相固定，所述壳体的一侧外壁固定连接有固定板，固定板的顶部固定连接有水泵，水泵的出水口的一端固定连接有连接软管，且连接软管与U型管道相固定，所述壳体的一侧开设有安装口，安装口内固定连接有抽水管，且抽水管与水泵进水口的一端相固定，所述壳体的一侧内壁固定连接有超声波发生器。

作为本实用新型再进一步的方案，所述缺齿轮的一侧固定连接有拨杆，且拨杆与U型管道相接触。

作为本实用新型再进一步的方案，所述壳体的底部内壁固定连接有多个导向杆，且导向杆与清洗盒滑动连接。

作为本实用新型再进一步的方案，所述壳体的一侧开设有观察口，观察口内固定连接有观察窗。

作为本实用新型再进一步的方案，所述壳体的底部外壁固定连接有多个支撑柱，支撑柱的底部固定连接有橡胶垫。

作为本实用新型再进一步的方案，多个所述支撑柱的一侧均固定连接有固定筋，且固定筋与壳体相固定。

作为本实用新型再进一步的方案，所述壳体的一侧开设有排水口，排水口内固定连接有出水管。

作为本实用新型再进一步的方案，所述壳体的底部内壁固定连接有过滤盒。

本实用新型的有益效果为：