[实用新型]一种具有定位功能的晶圆封装承载设备

说明书

本实用新型提供的一种具有定位功能的晶圆封装承载设备，包括承载箱、花篮和定位盒，所述承载箱包括箱体和箱盖，所述箱体的一侧设置有充气口，所述箱体的正面设置有第一标签，所述第一标签的下方设置有观察窗，所述箱盖的内侧设置有多个顶板，所述花篮放置在箱体内部，所述花篮的底部设置有多个支撑腿，所述定位盒固定在花篮的底部，所述花篮的正面设置有第二标签，所述花篮的两侧设置有固定板，所述花篮内部通过多个隔板分隔有多个放置槽，所述花篮的底部两侧设置有推杆，所述推杆的一端设置有弹簧，所述推杆位于放置槽内设置有固定夹板，所述放置槽的底部位于固定夹板与推杆的连接处设置有滑动槽。

技术领域

本实用新型属于晶圆封装技术领域，具体涉及一种具有定位功能的晶圆封装承载设备。

背景技术

晶圆封装，即对加工完成的晶圆片经过一系列的工艺后装壳的过程，在晶圆加工完成后，需要对晶圆片进行包装后转运至封装厂内进行封装，在转运过程中，需要使用晶圆承载设备进行转运，但是目前的晶圆封装承载设备仍存在以下的问题：

1、目前晶圆在从FAB工厂内加工完成后流出进行封装的过程中，由于需要将晶圆运送至晶圆封装工厂进行封装，因此需要对晶圆通过承载设备进行承载搬运，但是目前的晶圆成长设备并不能进行定位，导致不能实时监控晶圆的位置，无法及时安排后续封装等工艺的时间；

2、在转运的过程中由于车辆的震动和颠簸，导致晶圆会在晶圆承载设备内部发生晃动，进而使得晶圆与晶圆封装承载设备之间产生摩擦和碰撞，容易导致晶圆表面受到损伤，使得晶圆的报废，增加生产的时间和成本。

实用新型内容

为了解决背景技术中存在的问题，本实用新型提供了一种具有定位功能的晶圆封装承载设备。

本实用新型提供的一种具有定位功能的晶圆封装承载设备，包括承载箱、花篮和定位盒，其特征在于：所述承载箱包括箱体和箱盖，所述箱体的一侧设置有充气口，所述箱体的正面设置有第一标签，所述第一标签的下方设置有观察窗，所述箱盖的内侧设置有多个顶板，所述花篮放置在箱体内部，所述花篮的底部设置有多个支撑腿，所述定位盒固定在花篮的底部，所述花篮的正面设置有第二标签，所述花篮的两侧设置有固定板，所述花篮内部通过多个隔板分隔有多个放置槽，所述花篮的底部两侧设置有推杆，所述推杆的一端设置有弹簧，所述推杆位于放置槽内设置有固定夹板，所述放置槽的底部位于固定夹板与推杆的连接处设置有滑动槽。

所述定位盒内集成有处理器模块、定位模块、无线传输模块、蜂鸣器和蓄电池。

所述箱体与箱盖通过多个铰链连接，所述箱体与箱盖远离多个铰链的一侧通过锁扣扣合，所述箱盖的为透明材质的塑料。

所述箱体内部设置有与花篮底部形状相匹配的固定槽。

所述充气口为单向阀。

所述观察窗为透明材质的塑料，所述观察窗与第二标签的位置相对应。

所述多个顶板与固定板的位置相对应，所述多个顶板与固定板相抵。

所述推杆为矩形，所述弹簧位于花篮的外侧，所述滑动槽位于放置槽底部远离弹簧的一侧，所述固定夹板与推杆固定连接。

本实用新型的有益效果：

1本实用新型通过承载箱和花篮的一一对应，使晶圆所在的位置更加的准确，并且通过在花篮的底部设置定位盒，能够远程查看承载箱和花篮的位置，并能通过蜂鸣器对所需的承载箱和花篮进行寻找；

2本实用新型通过在箱盖上设置顶板，使花篮在扣合后能够稳固的固定在箱体内部不会发生晃动，并且放置在多个放置槽内的晶圆通过固定夹板的固定，使晶圆在运输时不会发生晃动，减少晶圆受到的损伤。

附图说明

图1为本实用新型一种具有定位功能的晶圆封装承载设备的结构图1。