[实用新型]分体式CVD进出炉载具有效
| 申请号： | 202221041882.2 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN217239416U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 汪良恩;张小明;安启跃 | 申请（专利权）人： | 安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 | 代理人： | 史策 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 体式 cvd 进出 炉载具 | ||
1.一种分体式CVD进出炉载具，其特征在于，所述载具包括：载筒(10)、尾盖(20)、保温连接垫(30)和保护盖(40)；
所述载筒(10)的尾端设置有法兰环(11)，所述保护盖(40)与法兰环(11)法兰连接，通过保温连接垫(30)将尾盖(20)压制在法兰环(11)尾端；
所述尾盖(20)开设有供拉杆进出的第一通孔(21)，所述保护盖(40)开设有与第一通孔(21)对应的第二通孔(41)，所述第二通孔(41)孔径小于第一通孔(21)孔径。
2.如权利要求1所述的分体式CVD进出炉载具，其特征在于，所述保温连接垫(30)包括若干弧形垫，所述弧形垫首尾对接围设成环形，所述保温连接垫(30)的头端开设有向尾端延伸的限位槽(31)，所述尾盖(20)容纳在限位槽(31)内。
3.如权利要求1所述的分体式CVD进出炉载具，其特征在于，所述保护盖(40)的头端开设有向尾端延伸的安装槽(42)，所述保温连接垫(30)容纳在安装槽(42)内。
4.如权利要求1所述的分体式CVD进出炉载具，其特征在于，所述保护盖(40)开设有与法兰环(11)对应的第一安装孔(43)；所述保温连接垫(30)开设有与法兰环(11)对应的第二安装孔(32)，所述法兰环(11)通过第二安装孔(32)和第一安装孔(43)与保温连接垫(30)和保护盖(40)法兰连接。
5.如权利要求1所述的分体式CVD进出炉载具，其特征在于，所述载筒(10)和尾盖(20)均采用石英材质。
6.如权利要求1～5任一所述的分体式CVD进出炉载具，其特征在于，所述保护盖(40)的端面开设有若干观察孔(44)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
