[实用新型]分体式CVD进出炉载具

说明书

本实用新型提供了一种分体式CVD进出炉载具，涉及半导体器件加工技术领域。所述载具包括：载筒、尾盖、保温连接垫和保护盖；载筒的尾端设置有法兰环，保护盖与法兰环法兰连接，通过保温连接垫将尾盖压制在法兰环尾端，使得尾盖拆装便利，尾盖损坏时只需更换尾盖，减小了汰换成本；尾盖开设有供拉杆进出的第一通孔，保护盖开设有与第一通孔对应的第二通孔，第二通孔孔径小于第一通孔孔径，能够大幅减少拉杆对尾盖的磕碰撞击次数，有效提升尾盖的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件加工技术领域，具体涉及一种分体式CVD进出炉载具。

背景技术

二极管是最常用的基础电子元器件，在高压二极管芯片制作钝化保护层过程中，需要通过CVD沉积工艺在PN结表面沉积一层半绝缘的薄膜，消除硅氧界面效应，从而提高器件的高温高湿环境下工作的可靠性。

针对芯片制作钝化保护层的过程中，CVD沉积作业晶圆进出反应炉采用拉杆驱动载具将晶圆推进或拉出。

载具在被推进或拉出的过程中其尾板容易与拉杆发生碰撞，导致损坏，并且目前的载具往往采用一体式设计，尾板损坏后整个载具都要进行汰换。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种分体式CVD进出炉载具，解决了载具尾板容易损坏且汰换成本高的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种分体式CVD进出炉载具，所述载具包括：载筒、尾盖、保温连接垫和保护盖；

所述载筒的尾端设置有法兰环，所述保护盖与法兰环法兰连接，通过保温连接垫将尾盖压制在法兰环尾端；

所述尾盖开设有供拉杆进出的第一通孔，所述保护盖开设有与第一通孔对应的第二通孔，所述第二通孔孔径小于第一通孔孔径。

优选的，所述保温连接垫包括若干弧形垫，所述弧形垫首尾对接围设成环形，所述保温连接垫的头端开设有向尾端延伸的限位槽，所述尾盖容纳在限位槽内。

优选的，所述保护盖的头端开设有向尾端延伸的安装槽，所述保温连接垫容纳在安装槽内。

优选的，所述保护盖开设有与法兰环对应的第一安装孔；所述保温连接垫开设有与法兰环对应的第二安装孔，所述法兰环通过第二安装孔和第一安装孔与保温连接垫和保护盖法兰连接。

优选的，所述载筒和尾盖均采用石英材质。

优选的，所述保护盖的端面开设有若干观察孔。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种分体式CVD进出炉载具。与现有技术相比，具备以下有益效果：

本实用新型中，所述载具包括：载筒、尾盖、保温连接垫和保护盖；载筒的尾端设置有法兰环，保护盖与法兰环法兰连接，通过保温连接垫将尾盖压制在法兰环尾端，使得尾盖拆装便利，尾盖损坏时只需更换尾盖，减小了汰换成本；尾盖开设有供拉杆进出的第一通孔，保护盖开设有与第一通孔对应的第二通孔，第二通孔孔径小于第一通孔孔径，能够大幅减少拉杆对尾盖的磕碰撞击次数，有效提升尾盖的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中载具的右视轴侧爆炸图；

图2为本实用新型实施例中载具的左视轴侧爆炸图；