[实用新型]一种基于硅片容器的分合片机构及系统

权利要求书

1.一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，包括：

硅片推送组件，包括第一推送模块、第二推送模块、吸盘模块，所述第一推送模块安装于待插片的硅片容器的一侧，所述第二推送模块安装于所述第一推送模块的一侧，且所述吸盘模块安装于所述第二推送模块内；

硅片定位组件，包括第一驱动件、第一移动件，所述第一驱动件安装于待插片的硅片容器的一端，且与所述第一移动件连接，所述第一移动件设有若干齿槽；

硅片抓取组件，包括第二驱动件、第二移动件、转动件、抓取模块，所述第二移动件分别与所述第二驱动件以及转动件连接，所述转动件与所述抓取模块连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述第一推送模块包括第三驱动件、升降件、顶齿组，所述升降件分别与所述第三驱动件以及顶齿组连接，所述顶齿组用于与待插片的硅片容器内置放的硅片抵触。

3.根据权利要求2所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述第二推送模块的结构与所述第一推送模块相同。

4.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述吸盘模块包括第四驱动件、第一移动块、第五驱动件、第二移动块、吸盘件，所述第四驱动件安装于所述第二推送模块内，且与所述第一移动块连接；所述第五驱动件安装于所述第一移动块内，且与第二移动块连接；所述吸盘件安装于所述第二移动块上。

5.根据权利要求4所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述吸盘件设有第一吸附槽，所述抓取模块设有第二吸附槽，通过所述第一吸附槽或第二吸附槽吸附待插片的硅片。

6.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述硅片定位组件包括从动件，所述从动件与所述第一驱动件连接，且所述第一移动件与所述从动件连接，通过所述第一驱动件带动从动件运动，通过所述从动件带动所述第一移动件同步运动，进而通过所述第一移动件将待插片的硅片置中。

7.根据权利要求1所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，还包括容器定位组件，所述容器定位组件包括第一定位件、第二定位件，所述第一定位件与第二位件之间设有用于置放待插片的硅片容器的置放工位。

8.根据权利要求7所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述第一定位件包括第六驱动件、抵触件，所述抵触件与所述第六驱动件连接；所述第二定位件与所述第一定位件结构相同。

9.根据权利要求7所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，所述硅片容器定位组件还包括缓冲件，所述缓冲件安装于所述第二定位件的一侧。

10.一种基于硅片容器的分合片系统，包括权利要求1-9任一项所述的一种基于硅片容器的分合片机构，其特征在于，还包括：

硅片容器。