[实用新型]一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置有效
| 申请号： | 202221060514.2 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN217312671U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 周国忠 | 申请（专利权）人： | 苏州朗道节能技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/22 | 分类号： | B01D53/22;C01B23/00 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 李微 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 行业 尾气 中的 氦气 回收 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)顶部右侧安装有气泵(6)，所述气泵(6)通过管道连通箱体(1)内腔体(7)，所述腔体(7)内中部安装有渗透膜(4)，其特征在于：所述腔体(7)底部安装有抽风泵(5)，所述腔体(7)内顶部安装有压力泵(2)，所述压力泵(2)外壁安装有压力传感器(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，其特征在于：所述压力传感器(12)的信号输出端分别与压力泵(2)和抽风泵(5)的信号输入相连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，其特征在于：所述压力泵(2)顶端贯穿箱体(1)连通有电控阀(3)。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，其特征在于：所述压力泵(2)右端通过管道连接回收壳(10)。
5.根据权利要求4所述的一种用于半导体行业尾气中的氦气回收装置，其特征在于：所述回收壳(10)内底部安装有增压泵(11)，所述增压泵(11)另一端通过阀体(9)对应罐体(8)相连通，所述增压泵(11)左端对应压力泵(2)相连通。
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