[实用新型]蒸汽干燥机有效
申请号: | 202221069008.X | 申请日: | 2022-05-06 |
公开(公告)号: | CN217768299U | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 张少阳;李佳森 | 申请(专利权)人: | 苏州芯矽电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;F26B21/00 |
代理公司: | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人: | 陆明耀 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸汽 干燥机 | ||
1.蒸汽干燥机,包括顶端设置有放料口(10)的壳体(1);其特征在于:所述壳体(1)内形成有加热区(11)和烘干区(12),两者之间通过油浴加热板(111)隔离;所述放料口(10)居中设置于所述烘干区(12)的顶端,且两者连通;所述壳体(1)的加热区(11)侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口(1101),所述加热区(11)加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区(12);所述烘干区(12)的外壁上设置有IPA回收管(1102),且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区(11)上; IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管(1102)再次进入所述加热区(11)。
2.根据权利要求1所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述烘干区(12)的内居中设置有接液盒(21),以及相对所述接液盒(21)升降并与其同轴设置的载料架(22)。
3.根据权利要求2所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述载料架(22)由提升组件(20)驱动升降,所述提升组件(20)包括动力源,以及由所述动力源驱动上下移动的升降杆(201);所述升降杆(201)的底端插接至所述烘干区(12)内,并与所述载料架(22)固定连接。
4.根据权利要求3所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述壳体(1)内部还设置有两根平行的L型的导向板(23),所述导向板(23)的顶端固定连接至所述壳体(1)的侧壁上,其底端设置于所述接液盒(21)的底部;所述载料架(22)两端与所述导向板(23)之间通过滚轮(24)连接,所述滚轮(24)的端面与所述导向板(23)的侧壁抵接,其圆周面与所述导向板(23)的另一侧壁接触,并沿竖直方向滑行。
5.根据权利要求4所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述放料口(10)位于所述接液盒(21)的正上方;所述放料口(10)上枢轴连接有盖板组件(3);第一状态,所述盖板组件(3)打开,所述载料架(22)位于所述放料口(10)处;第二状态,所述盖板组件(3)关闭,所述载料架(22)带动未烘干的产品移动至所述接液盒(21)的处进行干燥化处理,所述接液盒(21)收集部分蒸汽液化后的液体。
6.根据权利要求5所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述盖板组件(3)包括两个对称设置于所述壳体(1)侧壁上的支撑件(31),贯穿两个所述支撑件(31)的转轴(32),以及与所述转轴(32)固定连接的盖板(33);所述转轴(32)与所述支撑件(31)之间设置有轴承;所述盖板(33)居中设置于所述转轴(32)上。
7.根据权利要求6所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述烘干区(12)四周的内壁上均设置有内部存储有冷凝水的冷凝盘管,所述冷凝盘管的进口(41)和出口(42)均设置于所述壳体(1)的烘干区(12)上,且所述进口(41)位于所述出口(42)的下方。
8.根据权利要求7所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述壳体(1)上还设置有与所述烘干区(12)连通的抽风管道(13),所述抽风管道(13)位于所述烘干区(12)的顶端,将所述烘干区(12)内的气体抽出所述壳体(1)内部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造