[实用新型]蒸汽干燥机有效

专利信息
申请号: 202221069008.X 申请日: 2022-05-06
公开(公告)号: CN217768299U 公开(公告)日: 2022-11-08
发明(设计)人: 张少阳;李佳森 申请(专利权)人: 苏州芯矽电子科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F26B21/00
代理公司: 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 代理人: 陆明耀
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 蒸汽 干燥机
【权利要求书】:

1.蒸汽干燥机,包括顶端设置有放料口(10)的壳体(1);其特征在于:所述壳体(1)内形成有加热区(11)和烘干区(12),两者之间通过油浴加热板(111)隔离;所述放料口(10)居中设置于所述烘干区(12)的顶端,且两者连通;所述壳体(1)的加热区(11)侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口(1101),所述加热区(11)加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区(12);所述烘干区(12)的外壁上设置有IPA回收管(1102),且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区(11)上; IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管(1102)再次进入所述加热区(11)。

2.根据权利要求1所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述烘干区(12)的内居中设置有接液盒(21),以及相对所述接液盒(21)升降并与其同轴设置的载料架(22)。

3.根据权利要求2所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述载料架(22)由提升组件(20)驱动升降,所述提升组件(20)包括动力源,以及由所述动力源驱动上下移动的升降杆(201);所述升降杆(201)的底端插接至所述烘干区(12)内,并与所述载料架(22)固定连接。

4.根据权利要求3所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述壳体(1)内部还设置有两根平行的L型的导向板(23),所述导向板(23)的顶端固定连接至所述壳体(1)的侧壁上,其底端设置于所述接液盒(21)的底部;所述载料架(22)两端与所述导向板(23)之间通过滚轮(24)连接,所述滚轮(24)的端面与所述导向板(23)的侧壁抵接,其圆周面与所述导向板(23)的另一侧壁接触,并沿竖直方向滑行。

5.根据权利要求4所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述放料口(10)位于所述接液盒(21)的正上方;所述放料口(10)上枢轴连接有盖板组件(3);第一状态,所述盖板组件(3)打开,所述载料架(22)位于所述放料口(10)处;第二状态,所述盖板组件(3)关闭,所述载料架(22)带动未烘干的产品移动至所述接液盒(21)的处进行干燥化处理,所述接液盒(21)收集部分蒸汽液化后的液体。

6.根据权利要求5所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述盖板组件(3)包括两个对称设置于所述壳体(1)侧壁上的支撑件(31),贯穿两个所述支撑件(31)的转轴(32),以及与所述转轴(32)固定连接的盖板(33);所述转轴(32)与所述支撑件(31)之间设置有轴承;所述盖板(33)居中设置于所述转轴(32)上。

7.根据权利要求6所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述烘干区(12)四周的内壁上均设置有内部存储有冷凝水的冷凝盘管,所述冷凝盘管的进口(41)和出口(42)均设置于所述壳体(1)的烘干区(12)上,且所述进口(41)位于所述出口(42)的下方。

8.根据权利要求7所述的蒸汽干燥机,其特征在于:所述壳体(1)上还设置有与所述烘干区(12)连通的抽风管道(13),所述抽风管道(13)位于所述烘干区(12)的顶端,将所述烘干区(12)内的气体抽出所述壳体(1)内部。

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