[实用新型]一种集成电路生产洁净室系统

权利要求书

1.一种集成电路生产洁净室系统，包括洁净室主体(1)，其特征在于：所述洁净室主体(1)的后侧固定连通有空调机组(4)，所述洁净室主体(1)的右侧固定连通有回风箱(5)，所述回风箱(5)的内部活动连接有回风机构(3)，所述回风箱(5)的前侧固定连接有电机(7)，所述电机(7)与回风机构(3)传动连接，所述回风箱(5)远离洁净室主体(1)的一端固定连通有固定箱(6)，所述固定箱(6)与空调机组(4)固定连通，所述固定箱(6)的内部活动连接有净化机构(2)；

所述净化机构(2)包括固定架(201)、第一滤网(202)和第二滤网(203)，所述固定架(201)的表面与固定箱(6)的内壁接触，所述第一滤网(202)固定连接在固定箱(6)内部的前侧，所述第二滤网(203)固定连接在固定箱(6)内部的后侧。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产洁净室系统，其特征在于：所述回风机构(3)包括转杆(301)、风扇(302)、传动轮(303)和传动带(304)，所述转杆(301)活动连接在回风箱(5)的内部，所述转杆(301)的表面与风扇(302)的内壁固定连接，所述传动轮(303)分别固定连接在转杆(301)和电机(7)的输出端，所述传动带(304)缠绕在传动轮(303)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产洁净室系统，其特征在于：所述第一滤网(202)和第二滤网(203)的后侧均固定连接有支撑块(8)，所述第一滤网(202)的前侧活动连接有螺栓(9)，所述螺栓(9)的后侧贯穿第一滤网(202)和第二滤网(203)的内部并延伸至后侧支撑块(8)的内部。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路生产洁净室系统，其特征在于：所述支撑块(8)的数量为八个，且支撑块(8)分别固定连接在第一滤网(202)和第二滤网(203)后侧的四角，所述第一滤网(202)和第二滤网(203)通过支撑块(8)和螺栓(9)与固定架(201)固定连接，所述支撑块(8)靠近固定架(201)内壁的一侧与固定架(201)固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种集成电路生产洁净室系统，其特征在于：所述回风箱(5)内部的两侧均固定连接有支撑板(10)，所述支撑板(10)的内部开设有通风口(11)，所述转杆(301)表面的两侧均固定连接有轴承(12)，所述轴承(12)靠近支撑板(10)的一侧与支撑板(10)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路生产洁净室系统，其特征在于：所述固定箱(6)的右侧活动连接有箱门(13)，所述箱门(13)的左侧与固定架(201)的右侧接触，所述固定箱(6)右侧的后侧活动连接有把手(14)，所述把手(14)与箱门(13)紧密接触。