[实用新型]一种集成电路生产洁净室系统

说明书

本实用新型公开了一种集成电路生产洁净室系统，属于洁净室技术领域，其技术方案要点包括洁净室主体，所述洁净室主体的后侧固定连通有空调机组，所述洁净室主体的右侧固定连通有回风箱，所述回风箱的内部活动连接有回风机构，所述回风箱的前侧固定连接有电机，解决了现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用，从而影响使用效果的问题。

技术领域

本实用新型涉及洁净室技术领域，特别涉及一种集成电路生产洁净室系统。

背景技术

集成电路是一种微型电子器件或部件，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构，其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。

集成电路在生产过程中需要在洁净室内进行生产工作，而现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用。

实用新型内容

本实用新型提供一种集成电路生产洁净室系统，旨在解决现有的洁净室系统为了控制洁净室内温度等参数，需要不断对洁净室内进行降温处理，而通常通过将室内回风和室外新风冷却通入洁净室内，但回风进入洁净室系统内时与新风共用一个过滤结构，因此容易增加了过滤结构的负载，加快过滤结构的堵塞速率，从而容易使过滤结构堵塞，使过滤结构失去了过滤功能，导致洁净室不能正常的使用，从而影响使用效果的问题。

本实用新型是这样实现的，一种集成电路生产洁净室系统，包括洁净室主体，所述洁净室主体的后侧固定连通有空调机组，所述洁净室主体的右侧固定连通有回风箱，所述回风箱的内部活动连接有回风机构，所述回风箱的前侧固定连接有电机，所述电机与回风机构传动连接，所述回风箱远离洁净室主体的一端固定连通有固定箱，所述固定箱与空调机组固定连通，所述固定箱的内部活动连接有净化机构；

所述净化机构包括固定架、第一滤网和第二滤网，所述固定架的表面与固定箱的内壁接触，所述第一滤网固定连接在固定箱内部的前侧，所述第二滤网固定连接在固定箱内部的后侧。

为了达到排放回风的效果，作为本实用新型的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述回风机构包括转杆、风扇、传动轮和传动带，所述转杆活动连接在回风箱的内部，所述转杆的表面与风扇的内壁固定连接，所述传动轮分别固定连接在转杆和电机的输出端，所述传动带缠绕在传动轮的内部。

为了达到对净化机构固定的效果，作为本实用新型的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述第一滤网和第二滤网的后侧均固定连接有支撑块，所述第一滤网的前侧活动连接有螺栓，所述螺栓的后侧贯穿第一滤网和第二滤网的内部并延伸至后侧支撑块的内部。

为了达到提高固定强度的效果，作为本实用新型的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述支撑块的数量为八个，且支撑块分别固定连接在第一滤网和第二滤网后侧的四角，所述第一滤网和第二滤网通过支撑块和螺栓与固定架固定连接，所述支撑块靠近固定架内壁的一侧与固定架固定连接。

为了达到对回风机构支撑的效果，作为本实用新型的一种集成电路生产洁净室系统优选的，所述回风箱内部的两侧均固定连接有支撑板，所述支撑板的内部开设有通风口，所述转杆表面的两侧均固定连接有轴承，所述轴承靠近支撑板的一侧与支撑板固定连接。