[实用新型]一种半导体晶圆光学字符识别自动切换装置

权利要求书

1.一种半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，其特征在于，包括：

晶圆校准器，所述晶圆校准器用于晶圆对中以及寻边；

晶圆托盘，所述晶圆托盘设置在晶圆校准器上，所述晶圆托盘可在8吋工位和12吋工位之间进行滑动切换，并且可绕轴旋转；

传感器，所述传感器设置在晶圆校准器上，所述传感器用于识别晶圆托盘上是否有晶圆；

读码器，所述读码器设置在晶圆校准器一侧，所述读码器可在8吋晶圆读码位置和12吋晶圆读码位置之间滑动切换；所述读码器的滑动切换轨迹与所述晶圆托盘的滑动切换轨迹之间具有45度夹角。

2.根据权利要求1所述的半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，其特征在于，还包括：

基座，所述基座上设置有晶圆校准器；

读码器自动切换装置，所述读码器自动切换装置设置在基座下方；

连接件，所述读码器自动切换装置通过连接件使读码器滑动切换；

所述基座上开设有供连接件穿过的限位槽。

3.根据权利要求2所述的半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，其特征在于，所述读码器自动切换装置包括电控驱动装置、滑块和滑轨；

所述滑块设置在滑轨上，并且与连接件固定连接；

所述电控驱动装置接收电信号控制滑块沿滑轨移动，使读码器进行滑动切换。

4.根据权利要求3所述的半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，其特征在于，所述读码器自动切换装置还包括两个限位柱，所述限位柱分别设置在滑轨两端，所述限位柱通过限制滑块行程使读码器仅在8吋晶圆读码位置和12吋晶圆读码位置之间滑动。

5.根据权利要求3所述的半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，其特征在于，所述电控驱动装置包括双电控气缸和节流调速阀；

所述双电控气缸用于驱动滑块移动；所述节流调速阀用于调节滑块移动速度。

6.根据权利要求3所述的半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，其特征在于，所述电控驱动装置为驱动电机。