[实用新型]半导体加工模具的检测装置

说明书

本实用新型涉及模具技术领域，且公开了半导体加工模具的检测装置，包括支撑底座，所述支撑底座的外部固定连接在承载台，承载台远离支撑底座的一侧安装有夹持机构一，支撑底座的外部安装有夹持机构二，夹持机构二的外部安装有夹持机构三；当使用时，夹持机构一的运行先行对承载台表面放置的零件进行第一次夹持，之后夹持机构二和夹持机构三的运行就能对完成初步夹持的零件进行第二次、第三次的夹持，而且夹持机构一、夹持机构二、夹持机构三依次对零件进行夹持会使得零件受到六个方向的运动限制，使得零件不会受到外力影响后发生运动，限制移动的效果更好。

技术领域

本实用新型涉及模具技术领域，具体为半导体加工模具的检测装置。

背景技术

模具，工业生产上用以注塑、吹塑、挤出、压铸或锻压成型、冶炼、冲压等方法得到所需产品的各种模子和工具。模具是用来制作成型物品的工具，这种工具由各种零件构成，不同的模具由不同的零件构成，半导体模具为模具分类中的一种。

粗糙度仪是对半导体模具零件表面粗糙度检测的工具之一，而粗糙度仪在对半导体模具零件进行表面粗糙度测定的时候，是需要将零件进行夹持固定的，而固定的过程一旦受到外力的影响，夹持机构或者零件就有可能发生偏移，进而会影响到粗糙度的检测。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了半导体加工模具的检测装置，具备多方向稳定夹持的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：半导体加工模具的检测装置，包括支撑底座，所述支撑底座的外部固定连接在承载台，承载台远离支撑底座的一侧安装有夹持机构一，支撑底座的外部安装有夹持机构二，夹持机构二的外部安装有夹持机构三。

作为本实用新型进一步的方案：所述夹持机构一包括固定板、滑块、活动板、推杆，固定板固定连接在承载台远离支撑底座的一侧，滑块滑动连接在承载台的侧面，活动板固定连接在滑块的外部，推杆固定连接在活动板远离固定板的一侧。

作为本实用新型进一步的方案：所述滑块设置有两个且对称分布在承载台的侧面，活动板的两侧均固定连接有滑块。

作为本实用新型进一步的方案：所述夹持机构一还包括限制卡环和螺钉，限制卡环的表面开设有两个对称分布的螺孔，螺钉有两个，两个螺钉分别穿过两个螺孔并螺纹连接在承载台的台壁内侧。

作为本实用新型进一步的方案：所述夹持机构二包括滑道、滑条、活动框、齿条、固定底座、电动伸缩杆一，滑道有两个且对称开设在支撑底座的表面，滑条滑动连接在滑道的内侧，活动框固定连接在滑条远离支撑底座的一侧，齿条固定连接在活动框的外部，固定底座固定连接在支撑底座的表面，电动伸缩杆一固定安装在固定底座远离支撑底座的一侧。

作为本实用新型进一步的方案：所述固定底座和电动伸缩杆一均有两个且在支撑底座的表面对称分布，活动框有两个且对称分布在滑道的外部，两个电动伸缩杆一对称固定安装在其中一个活动框的外部。

作为本实用新型进一步的方案：所述夹持机构二还包括转轴、齿轮，转轴的一端转动连接在支撑底座的外部，转轴的另一端转动连接在承载台靠近支撑底座的一侧，齿轮固定连接在转轴的外部，齿条有两个且两个齿条均与齿轮的外部啮合。

作为本实用新型进一步的方案：所述夹持机构三包括电动伸缩杆二和下压板，电动伸缩杆二固定安装在活动框远离电动伸缩杆一的内侧壁，下压板固定安装在电动伸缩杆二靠近电动伸缩杆一的一侧，下压板滑动连接在活动框的内侧。

有益效果：

与现有技术相比，本申请实施例的半导体加工模具的检测装置，当使用时，夹持机构一的运行先行对承载台表面放置的零件进行第一次夹持，之后夹持机构二和夹持机构三的运行就能对完成初步夹持的零件进行第二次、第三次的夹持，而且夹持机构一、夹持机构二、夹持机构三依次对零件进行夹持会使得零件受到六个方向的运动限制，使得零件不会受到外力影响后发生运动，限制移动的效果更好。