[实用新型]一种晶圆平边器

权利要求书

1.一种晶圆平边器，其特征在于，包括滚动机构以及支撑所述滚动机构的底座，所述滚动机构包括滚筒以及与所述滚筒相连的摇杆，所述底座支撑所述滚筒，所述摇杆设于所述底座的外侧；

所述晶圆平边器还包括平衡机构，所述平衡机构包括与所述滚筒平行设置的平衡支架以及与所述平衡支架相连的支架控制杆，所述平衡支架位于所述滚筒一侧且与所述滚筒间距设置，所述支架控制杆设于所述底座的外侧。

2.根据权利要求1所述的晶圆平边器，其特征在于，所述底座包括两第一支撑件以及连接两所述第一支撑件的第二支撑件，所述第一支撑件与所述第二支撑件围成一容纳空间，所述滚筒及所述平衡支架设于所述容纳空间内。

3.根据权利要求2所述的晶圆平边器，其特征在于，所述第一支撑件的上表面高于所述第二支撑件的上表面。

4.根据权利要求2所述的晶圆平边器，其特征在于，所述晶圆平边器还包括一滚筒支撑杆，所述滚筒支撑杆设于所述容纳空间内且位于所述第二支撑件远离所述平衡支架的一侧。

5.根据权利要求2所述的晶圆平边器，其特征在于，至少一所述第一支撑件上设有两卡扣，两所述卡扣卡接晶圆盒。

6.根据权利要求2所述的晶圆平边器，其特征在于，两所述第二支撑件上分别设有卡槽，两所述卡槽固定晶圆盒。

7.根据权利要求1所述的晶圆平边器，其特征在于，所述滚筒的两端分别通过第一轴承固定在所述底座上，所述摇杆通过一第一轴承连接在所述滚筒的中心轴上。

8.根据权利要求1所述的晶圆平边器，其特征在于，所述平衡支架的两端分别设有第二轴承，并通过所述第二轴承固定在所述底座上，所述平衡支架通过一第二轴承与所述平衡支架连接。

9.根据权利要求2所述的晶圆平边器，其特征在于，所述第二支撑件靠近所述支架控制杆的一侧设有两限位块，所述支架控制杆位于两所述限位块之间。

10.根据权利要求1所述的晶圆平边器，其特征在于，所述支架控制杆设于所述摇杆与所述底座之间。