[实用新型]一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架

权利要求书

1.一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，包括：

晶圆支架本体(1)，所述晶圆支架本体(1)上设置有用于夹持晶圆(3)的夹持部；

用于液体流出的液体孔(2)，所述液体孔(2)开设在晶圆支架本体(1)上，液体由晶圆支架本体(1)内部经液体孔(2)流出至晶圆(3)边缘。

2.根据权利要求1所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述晶圆支架本体(1)呈圆柱体状，所述夹持部为开设在晶圆支架本体(1)周向方向上的V形槽(4)，所述V形槽(4)用于夹持晶圆(3)边缘。

3.根据权利要求2所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述V形槽(4)包括开口端和尖端(5)，所述尖端(5)用于与晶圆(3)接触。

4.根据权利要求3所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述液体孔(2)设置在V形槽(4)的尖端(5)处，且与所述尖端(5)保持在同一水平线上。

5.根据权利要求4所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述晶圆支架本体(1)内部在周向方向上开设置有液体通道(6)，所述液体孔(2)向晶圆支架本体(1)径向方向延伸，并与液体通道(6)连通；液体由液体通道(6)进入晶圆支架本体(1)内，再由液体孔(2)流出。

6.根据权利要求5所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，还包括晶圆支架旋转部(7)，所述晶圆支架旋转部(7)与晶圆支架本体(1)连接，用于驱动晶圆支架本体(1)旋转。

7.根据权利要求6所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述晶圆支架旋转部(7)内部开设有供液体管线(9)穿过的管线孔(8)，所述液体管线(9)穿过管线孔(8)与液体通道(6)连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述液体管线(9)与液体通道(6)通过螺纹连接。

9.根据权利要求8所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述晶圆支架旋转部(7)也呈圆柱体状，所述晶圆支架本体(1)、晶圆支架旋转部(7)、液体通道(6)和管线孔(8)均在同一轴线上。

10.根据权利要求9所述的一种用于CMP阶段晶圆边缘清洁的晶圆支架，其特征在于，所述液体管线(9)均与主管道(10)连通，由主管道(10)统一输入液体。