[实用新型]一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：包括

反应腔(1)，所述反应腔(1)的下端面设置有连通所述反应腔(1)内部的出料口(2)；

闭合盖(3)，上下移动安装在所述反应腔(1)的出料口(2)下方，用于密封关闭所述反应腔(1)；

分隔机构，包含若干按等角度环绕设置在定位件(4)四周的隔离件(5)、所述隔离件(5)向外分别固接到所述反应腔(1)的内侧壁，向内分别通过相应的衔接件(6)连接所述定位件(4)；所述反应腔(1)在位于所述隔离件(5)的顶部设置有相应的介质窗口(7)，且位于所述隔离件(5)侧壁分别设置有相应的进气口(8)和观察窗(9)，所述进气口(8)分别连通至相应的所述隔离件(5)内部，并设置有相应的启闭阀门；

基底座(10)，安装在所述闭合盖(3)的上部，所述闭合盖(3)上移至密封关闭所述出料口(2)时，所述基底座(10)套装于所述定位件(4)内部；

若干基片台(11)，分别设置在相应的所述隔离件(5)内、并通过相应的连杆(12)固定安装在所述基底座(10)的上端部；

若干密封机构，分别设置在所述基底座(10)位于连杆(12)的下方，所述闭合盖(3)上升关闭所述反应腔(1)时，通过密封机构分隔所述隔离件(5)和所述定位件(4)；

若干微波发生器，分别对应设置在各个所述介质窗口(7)的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述密封机构包含固接在所述基底座(10)四周并置于所述连杆(12)下方的凸块(13)，所述凸块(13)衔接于所述连杆(12)的下端面；所述凸块(13)是纵向剖切为上窄下宽的等腰梯形结构，所述凸块(13)的两侧壁均安装有相应的第一密封层(24)，所述衔接件(6)的两侧壁均设置有所述凸块(13)相适配的倾斜面。

3.根据权利要求2所述的一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述隔离件(5)和定位件(4)均为圆筒状结构，所述凸块(13)的外端部设置为与所述隔离件(5)相适配的弧形面。

4.根据权利要求1所述的一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述闭合盖(3)的上表面设置有与所述分隔机构的隔离件(5)和定位件(4)相配合的卡接槽，所述卡接槽的表面设置有第二密封层，所述闭合盖(3)上升关闭所述反应腔(1)时，所述隔离件(5)和定位件(4)分别嵌入相应的卡接槽。

5.根据权利要求1所述的一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述气相沉积装置还包括为所述基片台(11)降温的冷却机构，冷却机构包含设置在所述连杆(12)内的冷却水腔室(14)和水冷轴(15)，所述水冷轴(15)的一端连通在所述冷却水腔室(14)内部并置于所述基片台(11)下方，所述水冷轴(15)的另一端延伸于所述基底座(10)内、并分别与所述基底座(10)内的冷却水管路连通，所述冷却水管路与外界的冷却水构成循环水路。

6.根据权利要求1所述的一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述气相沉积装置还包括连接于所述闭合盖(3)的第一升降机构(16)，所述第一升降机构(16)驱动所述闭合盖(3)上下移动。

7.根据权利要求1所述的一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述气相沉积装置还包括连接于所述基底座(10)的第二升降机构(17)，所述第二升降机构(17)驱动所述基底座(10)上下移动，所述基底座(10)的底部贯穿所述闭合盖(3)，并罩设有伸缩密封罩。

8.根据权利要求1所述的一种多腔微波等离子体化学气相沉积装置，其特征在于：所述微波发生器包含安装在所述介质窗口(7)正上方的耦合转换腔(18)以及微波源(23)，所述微波源(23)通过三销钉调配器(19)、波导管(20)、模式转换天线(21)连接所述耦合转换腔(18)。