[实用新型]一种低温泵吸附阵

权利要求书

1.一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述吸附阵与气缸相连，所述吸附阵包括第一冷伞片、第二冷伞片，第一冷伞片与第二冷伞片粘附有活性炭，所述第一冷伞片与第二冷伞片相连，都用于冷凝吸附气体；

第一冷伞片包括第一平板部和第一环绕部，所述第一平板部基本为圆片状，第一平板部居中设置有方形孔，所述第一环绕部与第一平板部相连，所述第一冷伞片在平行于第一平板部方向上的投影呈等腰梯形；所述第二冷伞片用于安装气缸，第二冷伞片与气缸的端部相连；第二冷伞片包括第二平板部和第二环绕部，所述第二环绕部与第二平板部相连，第二环绕部形状与第一环绕部形状相同；

所述第一环绕部、第二环绕部设置有用于增加胶水附着力的通孔。

2.根据权利要求1所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述吸附阵还包括支柱，所述第一冷伞片与相邻的第一冷伞片或第二冷伞片之间通过支柱相连，所述支柱基本呈方管状，支柱的外侧面粘附有活性炭。

3.根据权利要求2所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述支柱设有安装板，安装板与第一平板部平行，所述安装板与第一冷伞片、第二冷伞片通过螺栓相连，并且在连接处垫有垫片和铟片。

4.根据权利要求1所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述第一平板部的上表面或上下两面粘附有活性炭，所述第二平板部的上下两面都粘附有活性炭。

5.根据权利要求1所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述活性炭为柱状椰壳炭，所述第一平板部及第二平板部粘附有直径3mm的柱状椰壳炭，所述第一环绕部及第二环绕部粘附有直径5mm柱状椰壳炭。

6.根据权利要求1所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述第一冷伞片、第二冷伞片采用旋压工艺、冲压工艺加工而成，并且所述第二平板部的厚度大于所述第一平板部的厚度。

7.根据权利要求1所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述吸附阵还包括冷伞底片，所述冷伞底片基本为圆形，所述冷伞底片上设置有与第一冷伞片的方形孔相同的镂空区，所述冷伞底片的上表面粘附有活性炭。

8.根据权利要求1所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述第一冷伞片在平行于第一平板部方向上的投影呈等腰梯形，并且在该方向上，第一环绕部与第一平板部的夹角为105度到120度。

9.根据权利要求8所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述第一环绕部与第一平板部的夹角为113度。

10.根据权利要求1所述的一种低温泵吸附阵，其特征在于：所述吸附阵的表面做Cu+Ag涂层处理。