[实用新型]一种低温泵吸附阵

说明书

本公开提供了一种低温泵吸附阵，属于低温真空技术领域，其包括伞状堆叠的第一冷伞片、第二冷伞片，第一冷伞片居中设置有方形孔，第二冷伞片用于安装气缸，第二冷伞片与气缸的端部相连，所述第一冷伞片在平行于第一平板部方向上的投影呈等腰梯形，所述第一冷伞片与第二冷伞片形状基本相同，所述第一冷伞片、第二冷伞片设置有用于增加胶水附着力的通孔。本公开能够增加活性炭粘附面积、并且活性炭粘附较牢固，不易脱落，吸附气体不容易饱和，延长了低温泵再生周期。

技术领域

本公开属于低温真空技术领域，更具体涉及一种低温泵吸附阵。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜需要真空条件，而低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，主要通过低温冷凝和低温吸附获得超高真空。低温冷凝主要是采用冷伞片冷凝第一、二类气体(如CO₂、N₂、Ar等)，以N₂为例，如低温板温度小于等于20K，压力将小于10^-8Pa。但超高真空的获得仅仅依靠低温冷凝是不够的，第三类气体H₂、He、Ne在20K的平衡蒸汽压力太高，不能被低温冷凝在冷伞片上。低温吸附主要是采用低温下的吸附材料捕获第三类气体，获得超高真空。吸附阵结构多采用多层冷伞片堆成伞状的结构，把4mm左右厚的紫铜板弯成U型作为传热板，把圆环型冷伞片冲压成型后镀镍，内层粘结活性炭，再通过铜铆钉铆接至传热板，组成一个吸附阵。吸附阵外表面用于冷凝第二类气体，内表面用于吸附第三类气体，气体一般先碰到冷凝面再碰到吸附面上，这种结构保证低温泵对所有气体均具有一定的抽速。

起初，小型自屏蔽低温泵，都是从美、日进口的，进口过程比较困难，周期较长，经费还比较贵。而且，活性炭的数量和牢固度对低温泵的排气能力十分重要，但现有低温泵存在吸附阵金属表面与活性炭之间胶水的附着力不足，使用一段时间后容易脱落、吸附阵活性炭的量少，吸附气体(H₂，Ar)容易饱和，低温泵再生周期短的问题。

为解决进口难题，我国研制出小型制冷机低温泵，如公开号为CN201288651Y的一种小型制冷机低温泵：主要包括冷头、壳体、冷屏、二级冷板、障板，其中，冷屏设置在壳体内部，二级冷板设置在冷屏内部，冷头通过其法兰固定在壳体中线上并穿过壳体，在壳体内部通过其一级法兰与冷屏连接，在冷屏内通过其二级法兰与二级冷板相连接，障板与冷屏组成光学封闭结构，将二级冷板包围在其中。该公开中，二级冷板整件外表面镀银抛光，吸附板内表面用低温胶粘结椰壳活性炭，活性炭采用直径为1mm-2mm、长度为2mm-3mm的圆柱体形状，螺钉连接处采用铟片连接。该公开仍存在吸附阵金属表面与活性炭之间胶水的附着力不足、吸附阵活性炭的量少，吸附气体(H₂，Ar)容易饱和的问题。

实用新型内容

本公开针对现有技术中，小型低温泵存在的，吸附阵金属表面与活性炭之间胶水的附着力不足，使用一段时间后活性炭容易脱落、吸附阵活性炭的量少，吸附气体(H₂， Ar)容易饱和，低温泵再生周期短的问题，提供一种低温泵吸附阵，该低温泵吸附阵上吸附的活性炭数量较多，且活性炭附着力好，不易脱落，提高了吸附阵的吸附性能，延长了活性炭的饱和时间，延长了低温泵再生周期。

本公开的构思之一在于，吸附阵包括冷伞片，冷伞片包括第一冷伞片和用于连接气缸端部的第二冷伞片，第一冷伞片、第二冷伞片上粘附有活性炭，第一冷伞片上设置有方形孔，所述方形孔用于供气缸通过或用于通气。而现有技术中设置圆形孔，方形孔相对圆形孔，一是加工更方便，二是减少了打孔面积，使得平板部上能粘附更多活性炭，延长活性炭的饱和时间，延长低温泵再生周期。

本公开的另一构思在于，通过在第一冷伞片、第二冷伞片上加工通孔，增加胶水附着度从而提高活性炭的附着度。

本公开的另一构思在于，相邻的冷伞片之间通过支柱相连，连接处用螺栓紧固并垫有铟片和垫片，能增加面与面之间的贴合度，增加接触面积，更有利于温度传导。