[实用新型]一种分布均匀的半导体芯片用光阻液喷涂装置

权利要求书

1.一种分布均匀的半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：包括回收箱(1)、底环(2)、工作环(3)以及喷涂环(4)；底环(2)安装于回收箱(1)表面；工作环(3)设置于底环(2)与喷涂环(4)之间；

工作环(3)内相对两侧安装有夹持组件；喷涂环(4)内设置有一个以上的喷嘴(11)；喷嘴(11)设置于夹持组件上端；工作环(3)外侧设置有齿牙(18)；回收箱(1)表面设置有连接齿牙(18)的驱动组件。

2.根据权利要求1所述的分布均匀的半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：驱动组件包括内嵌式安装于回收箱(1)表面的第一电机(6)，第一电机(6)的电机轴上安装有齿轮(7)；齿轮(7)与齿牙(18)啮合；

夹持组件包括内嵌式安装于工作环(3)内壁相对两侧的第二电机(19)；第二电机(19)侧面安装有第一液压伸缩元件(20)；第一液压伸缩元件(20)侧面安装有夹持装置(210)。

3.根据权利要求1所述的分布均匀的半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：回收箱(1)表面相对两侧安装有第二液压伸缩元件(23)；第二液压伸缩元件(23)上安装有支架(8)；支架(8)另一端连接喷涂环(4)；

支架(8)上安装有水泵(9)；回收箱(1)表面设置有第一通孔(21)；水泵(9)上安装有水管(10)；水管(10)另一端穿过第一通孔(21)，设置于回收箱(1)内；水泵(9)另一端导通连接一个以上的喷嘴(11)。

4.根据权利要求1所述的分布均匀的半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：回收箱(1)表面设置有第二通孔(22)，第二通孔(22)与底环(2)内孔相对设置；

底环(2)上端面与喷涂环(4)下端面均设置有环形限位槽(14)；环形限位槽(14)内安装有转盘滑轮(15)；工作环(3)上下端面均设置有环形滑台(17)；环形滑台(17)设置于环形限位槽(14)内，并与转盘滑轮(15)贴合。

5.根据权利要求1所述的分布均匀的半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：回收箱(1)内安装有电源，回收箱(1)表面设置有连接电源的控制面板；

工作环(3)表面设置有导电圆环(100)；回收箱(1)表面设置有连接控制面板的导电针(101)；导电针(101)另一端贴合于导电圆环(100)内。