[实用新型]一种晶圆转换治具有效

专利信息
申请号: 202221145947.8 申请日: 2022-05-13
公开(公告)号: CN218182180U 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 何环清;苏丽静 申请(专利权)人: 厦门莱尔德光电科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 张国栋
地址: 361000 福建省厦门市同*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 转换
【权利要求书】:

1.一种晶圆转换治具,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上表面左侧固定连接有第一连接框(2),所述工作台(1)的上表面开设有空腔,且空腔内设置有第二连接框(3),所述第一连接框(2)和第二连接框(3)的外表面均固定连接有第一电机(4),所述第一电机(4)的输出端固定连接有双向螺纹杆(5),所述双向螺纹杆(5)的外壁螺纹连接有螺纹块(6),所述螺纹块(6)的外表面固定连接有连接块(7);

所述工作台(1)的上表面固定连接有第二电机(11),所述第二电机(11)的输出端固定连接有转动轴(12),所述转动轴(12)的上端固定连接有转盘(13),所述转盘(13)的上表面转动连接有连接杆(14),所述连接杆(14)远离转盘(13)的一端转动连接有滑块(15),所述滑块(15)的左端固定连接有导杆(16),所述导杆(16)远离滑块(15)的一端固定连接有推块(17),所述推块(17)的外表面开设有弧形槽(171)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆转换治具,其特征在于:所述第二连接框(3)的上表面与工作台(1)的上表面齐平。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆转换治具,其特征在于:所述第一连接框(2)和第二连接框(3)的内部均设置有轴承(8),所述轴承(8)的内壁与双向螺纹杆(5)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆转换治具,其特征在于:所述第一连接框(2)所对应连接块(7)的外端固定连接有第一夹块(9)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆转换治具,其特征在于:所述第二连接框(3)所对应连接块(7)的外端固定连接有第二夹块(10)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆转换治具,其特征在于:所述工作台(1)的上表面且位于第二电机(11)的左侧固定连接有固定块(18),所述固定块(18)的上端固定连接有固定框(19),所述滑块(15)与固定框(19)的内壁滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆转换治具,其特征在于:所述工作台(1)的上表面且位于转盘(13)和固定框(19)的外部固定连接有防护罩(20)。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆转换治具,其特征在于:所述工作台(1)的底端四角均固定连接有支撑腿(21),所述支撑腿(21)的底端设置有防滑垫。

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