[实用新型]一种晶圆转换治具

说明书

本实用新型公开了一种晶圆转换治具，包括工作台，所述工作台的上表面左侧固定连接有第一连接框，所述工作台的上表面开设有空腔，且空腔内设置有第二连接框，所述第一连接框和第二连接框的外表面均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的外表面固定连接有连接块，所述工作台的上表面固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有转动轴，所述转动轴的上端固定连接有转盘。本实用新型中，通过第二电机的驱动作用，可实现转盘的转动，进而可实现导杆带动推块进行移动，可将满载晶圆盒内的晶圆推至空载晶圆盒内，完成对晶圆的转换。

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种晶圆转换治具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％。

在半导体加工制程中，晶圆均是整批承载在晶圆盒内，通过晶圆盒的承载在不同制程机台间移动，以确保晶圆在移动过程中不会损坏。晶圆根据用途分为很多种，在整个制程中，晶圆要在几种晶圆盒之间转换；现有技术中，经过检索，发现中国专利公开了“晶圆分片系统及其分片方法”，其申请号为“201810972358.9”，其包括两个供晶周放置的位置，手动推动推杆使得晶周内的晶圆对应地进入另一个晶周内，其中，推杆没有做任何的保护限位措施，在空载的情况下还能够推动推杆，这样设置不安全，容易使得推杆乱滑动，所以现在需要一种能够解决以上问题的晶圆转换治具。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆转换治具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆转换治具，包括工作台，所述工作台的上表面左侧固定连接有第一连接框，所述工作台的上表面开设有空腔，且空腔内设置有第二连接框，所述第一连接框和第二连接框的外表面均固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆的外壁螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的外表面固定连接有连接块；

所述工作台的上表面固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有转动轴，所述转动轴的上端固定连接有转盘，所述转盘的上表面转动连接有连接杆，所述连接杆远离转盘的一端转动连接有滑块，所述滑块的左端固定连接有导杆，所述导杆远离滑块的一端固定连接有推块，所述推块的外表面开设有弧形槽。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第二连接框的上表面与工作台的上表面齐平。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一连接框和第二连接框的内部均设置有轴承，所述轴承的内壁与双向螺纹杆固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第一连接框所对应连接块的外端固定连接有第一夹块。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述第二连接框所对应连接块的外端固定连接有第二夹块。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述工作台的上表面且位于第二电机的左侧固定连接有固定块，所述固定块的上端固定连接有固定框，所述滑块与固定框的内壁滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述工作台的上表面且位于转盘和固定框的外部固定连接有防护罩。

作为上述技术方案的进一步描述：