[实用新型]一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉

权利要求书

1.一种用于拉晶炉的隔离阀，所述隔离阀设置在所述拉晶炉的主炉室和副炉室之间，其特征在于，所述隔离阀包括：

阀座，所述阀座形成有用于将所述主炉室和所述副炉室连通的通道；

阀盖，所述阀盖用于封闭所述通道；

供气装置，所述供气装置用于将保护性气体供应至所述阀盖的在所述阀盖将所述通道封闭时面向所述主炉室的内表面。

2.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述供气装置包括：

用于存储压缩的保护性气体的气源；

用于将压缩的保护性气体喷射至所述阀盖的内表面的喷头；

用于将所述气源与所述喷头连通的管路。

3.根据权利要求2所述的隔离阀，其特征在于，所述供气装置还包括设置在所述管路上的开关阀，所述开关阀仅在所述阀盖从将所述通道封闭的封闭状态切换到将所述通道打开的打开状态以及从所述打开状态切换到所述封闭状态时打开。

4.根据权利要求3所述的隔离阀，其特征在于，所述阀盖铰接至所述阀座。

5.根据权利要求3所述的隔离阀，其特征在于，所述喷头固定在所述阀盖的内表面。

6.根据权利要求5所述的隔离阀，其特征在于，所述喷头呈圆环状并且具有沿着所述喷头的周向均匀分布的一系列排气口。

7.根据权利要求6所述的隔离阀，其特征在于，当所述阀盖处于所述封闭状态时，所述喷头的外周与所述通道的内壁贴合，所述一系列排气口设置在所述喷头的径向内侧。

8.根据权利要求6或7所述的隔离阀，其特征在于，所述喷头具有与所述一系列排气口连通的环状空腔以及与所述空腔连通的至少一个进气口。

9.根据权利要求1所述的隔离阀，其特征在于，所述保护性气体为氩气。

10.一种拉晶炉，其特征在于，所述拉晶炉包括根据权利要求1至9中任一项所述的隔离阀。