[实用新型]一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉

说明书

本实用新型实施例公开了一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉，所述隔离阀设置在所述拉晶炉的主炉室和副炉室之间，所述隔离阀包括：阀座，所述阀座形成有用于将所述主炉室和所述副炉室连通的通道；阀盖，所述阀盖用于封闭所述通道；供气装置，所述供气装置用于将保护性气体供应至所述阀盖的在所述阀盖将所述通道封闭时面向所述主炉室的内表面。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产领域，尤其涉及一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉。

背景技术

对于单晶硅的生产而言，目前主要采用的是直拉法。适用于直拉法的拉晶炉通常包括：主炉室，其中设置有用于容纳多晶硅的石英坩埚以及用于加热以使多晶硅熔融的加热器，并且在拉晶过程中主炉室内还通入有例如氩气的保护性气体以将内部空气排出避免氧化并提供所需炉压；副炉室，可以用于容纳生长完成的单晶硅棒；以及设置在主炉室和副炉室之间的隔离阀，以实现主炉室和副炉室不同的工作环境，比如主炉室和副炉室之间的炉压是不同的。

对于拉晶工艺而言，例如在二次加粒、提渣、更换籽晶等操作期间会有将隔离阀的阀盖打开和关闭的需求。

多晶硅在熔融过程中会与容纳多晶硅的石英坩埚发生化学反应，从而生成硅氧化物。该硅氧化物主要会随着通入到主炉室内的保护性气体流动，并随保护性气体一起经由排气口排出到拉晶炉外部。然而，在进行隔离阀的阀盖打开和关闭的操作时，主炉室和副炉室会产生一定的压力差，该压力差会导致隔离阀盖附近的气体发生紊流，从而导致硅氧化物与阀盖的内表面接触而附着在该内表面上，并且不断聚集而形成片状或颗粒状的聚集物，聚集物易于落入到硅熔体中，一方面会产生热冲击，使晶体失去单晶特性(一般称之为断线)，导致生产失败，另一方面会导致晶体内部引入杂质而生成缺陷，极大地影响单晶品质。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型实施例期望提供一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉，能够在隔离阀的阀盖打开和关闭的过程中主炉室和副炉室之间产生压差而导致气体发生紊流的情况下，避免含有硅氧化物的气体与阀盖的内表面接触，从而避免聚集物的生成，使得不会有聚集物掉落到硅熔体中。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种用于拉晶炉的隔离阀，所述隔离阀设置在所述拉晶炉的主炉室和副炉室之间，所述隔离阀包括：

阀座，所述阀座形成有用于将所述主炉室和所述副炉室连通的通道；

阀盖，所述阀盖用于封闭所述通道；

供气装置，所述供气装置用于将保护性气体供应至所述阀盖的在所述阀盖将所述通道封闭时面向所述主炉室的内表面。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种拉晶炉，所述拉晶炉包括根据第一方面所述的隔离阀。

本实用新型实施例提供了一种用于拉晶炉的隔离阀及拉晶炉，在对隔离阀的阀盖执行打开和关闭的操作的过程中，即使阀盖附近的气体会因主炉室和副炉室之间的压力差而发生紊流，由于保护性气体被供应至了阀盖的内表面，或者说会使得内表面附近始终存在有保护性气体，因此主炉室中含有硅氧化物的气体并不会接触到该内表面，则硅氧化物也不会接触到该内表面，由此避免了在该内表面上形成硅氧化物的聚集物，并且也不会有聚集物经由阀座的通道掉落到处于主炉室中的硅熔体中。

附图说明

图1为根据本实用新型的实施例的隔离阀所应用于的拉晶炉的示意图；

图2为根据本实用新型的实施例的隔离阀的示意图；

图3为根据本实用新型的实施例的供气装置的示意图；

图4为根据本实用新型的实施例的能够实现铰接的阀盖的示意图；

图5为根据本实用新型的实施例的喷嘴的示意图；

图6为根据本实用新型的另一实施例的隔离阀的示意图。