[实用新型]一种光刻系统及其光刻胶自动供给装置有效
| 申请号： | 202221176412.7 | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN218158724U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 金在植;林锺吉;张成根 | 申请（专利权）人： | 成都高真科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G47/90 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 林菲菲 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 系统 及其 自动 供给 装置 | ||
1.光刻胶自动供给装置，其特征在于，包括供应组件（1）和运输组件（2）；
所述供应组件（1）包括多个承载台（4），所述承载台（4）用于承载光刻胶瓶（3）；且所述承载台（4）能够在水平方向移动；
所述运输组件（2）用于将光刻胶耗尽的光刻胶瓶（3）从供应组件（1）中取出或将根据光刻胶瓶（3）上的FRID标签信息将新的光刻胶瓶（3）运输至相应承载台（4）上。
2.根据权利要求1所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，所述运输组件（2）采用机械手。
3.根据权利要求1所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，还包括驱动组件；
所述驱动组件用于驱动所述承载台（4）由一个工位移动至另一个工位。
4.根据权利要求3所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，所述驱动组件采用电动或液压驱动装置。
5.根据权利要求3所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，所述驱动组件还用于驱动所述承载台（4）偏转预设角度。
6.根据权利要求5所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，所述驱动组件用于将所述承载台（4）沿水平方向偏转15°。
7.根据权利要求1-6任一项所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，还包括瓶盖（5）；
所述瓶盖（5）上附加的传输管插入所述光刻胶瓶内，用于传输光刻胶。
8.根据权利要求7所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，所述瓶盖（5）上附加的传输管与所述光刻胶瓶（3）的轴线呈预设角度。
9.根据权利要求1所述的光刻胶自动供给装置，其特征在于，至少包括两个运输组件（2）。
10.一种光刻系统，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的光刻胶自动供给装置。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都高真科技有限公司，未经成都高真科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202221176412.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：美牙仪
- 下一篇：特定趋光波段粮仓害虫诱捕系统
