[实用新型]一种光刻系统及其光刻胶自动供给装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻系统及其光刻胶自动供给装置，光刻胶自动供给装置，包括供应组件和运输组件；所述供应组件包括多个承载台，所述承载台用于承载光刻机瓶；且所述承载台能够在水平方向移动；所述运输组件用于将光刻胶耗尽的光刻胶瓶从供应组件中取出或将根据光刻胶瓶上的FRID标签信息将新的光刻胶瓶运输至相应承载台上。本实用新型利用FRID自动识别光刻胶瓶的信息，并根据识别结果采用自动输送装置将其运输到供给位置进行供给。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种光刻系统及其光刻胶自动供给装置。

背景技术

半导体制造中，光刻工艺占整个芯片制造的成本的35％，耗时占整个芯片制造工艺的40-60％；作为光刻工艺中最重要的耗材之光刻胶的供给目前多依靠人工供给方式。

然而上述人工供给方式容易造成作业错误以及光刻胶误投入等问题，同时在搬运过程中产生的损坏事故在不断发生。

为了解决上述问题，出现了使用FRID系统以及设计相应的容器搬运工具，然而仍不能很好的解决上述问题。

实用新型内容

故针对现有光刻机供给需要投入大量的更换光刻机人力，同时存在误投入、损毁等问题，本实用新型提供了一种光刻胶自动供给装置。本实用新型利用FRID自动识别光刻胶瓶的信息，并根据识别结果采用自动输送装置将其运输到供给位置进行供给。

本实用新型通过下述技术方案实现：

光刻胶自动供给装置，包括供应组件和运输组件；

所述供应组件包括多个承载台，所述承载台用于承载光刻机瓶；且所述承载台能够在水平方向移动；

所述运输组件用于将光刻胶耗尽的光刻胶瓶从供应组件中取出或将根据光刻胶瓶上的FRID标签信息将新的光刻胶瓶运输至相应承载台上。

作为优选实施方式，本实用新型的运输组件采用机械手。

作为优选实施方式，本实用新型的装置还包括驱动组件；

所述驱动组件用于驱动所述承载台由一个工位移动至另一个工位。

作为优选实施方式，本实用新型的驱动组件采用电动或液压驱动装置。

作为优选实施方式，本实用新型的驱动装置还用于驱动所述承载台偏转预设角度。

作为优选实施方式，本实用新型的驱动装置用于将所述承载台沿水平方向偏转15°。

作为优选实施方式，本实用新型的装置还包括瓶盖；

所述瓶盖上附加的传输管插入所述光刻胶瓶内，用于传输光刻胶。

作为优选实施方式，本实用新型的瓶盖上附加的传输管与所述光刻胶瓶的轴线呈预设角度。

作为优选实施方式，本实用新型的装置至少包括两个运输组件。

另一方面，本实用新型还提出了一种光刻系统，包括上述光刻胶自动供给装置，以进行光刻胶自动供给。

本实用新型具有如下的优点和有益效果：

本实用新型提供的自动供给装置利用FRID标签，通过自动运输组件和供应组件组件实现光刻胶的自动供给，提高了效率，节约了人力成本，避免了因人工更换造成误投入影响芯片品质或损坏造成环境安全事故的问题。

本实用新型提供的自动供给装置还通过将光刻胶瓶进行倾斜，从而使得将光刻胶瓶内的残余光刻胶能够被用尽，提高了光刻胶的利用率，降低了成本。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：