[实用新型]一种硅料酸洗装置有效
申请号: | 202221189827.8 | 申请日: | 2022-05-18 |
公开(公告)号: | CN217963813U | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 沙彦文;董长海;苏波;孟成;温洋;麦长彪;周小渊;贺俊杰 | 申请(专利权)人: | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 | 代理人: | 郭红 |
地址: | 755100 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酸洗 装置 | ||
1.一种硅料酸洗装置,包括酸洗装置本体(1),其特征在于;所述酸洗装置本体(1)包括呈圆柱状的酸洗槽(101),所述酸洗槽(101)的顶部安装有缩颈部(102),所述缩颈部(102)的上端面安装有喇叭口(103),所述酸洗槽(101)的内部安装有酸洗篮(2),所述酸洗篮(2)的外侧壁和底部均贯穿开设有多个均匀分布的通孔(201);
所述酸洗篮(2)的底端面的中部贯穿开设有卡孔(203),所述卡孔(203)的内部安装有卡柱(3),所述卡柱(3)的底端面固定安装有支撑台(301),所述支撑台(301)的底端面固定安装有转盘(4),所述转盘(4)的底端面固定安装有转动环(401)。
2.根据权利要求1所述的一种硅料酸洗装置,其特征在于:所述缩颈部(102)与喇叭口(103)呈镜像设置。
3.根据权利要求1所述的一种硅料酸洗装置,其特征在于:所述酸洗槽(101)的内部底端面开设有呈环状的滑槽(5),所述转动环(401)的底部与滑槽(5)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅料酸洗装置,其特征在于:所述酸洗篮(2)外侧壁的上端贯穿开设有两个左右分布的提手(202),多个所述通孔(201)的直径均为12mm。
5.根据权利要求1所述的一种硅料酸洗装置,其特征在于:所述支撑台(301)的上端面设置有防滑纹。
6.根据权利要求1所述的一种硅料酸洗装置,其特征在于:所述酸洗装置本体(1)采用四氟材料。
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