[实用新型]一种硅料酸洗装置有效

专利信息
申请号: 202221189827.8 申请日: 2022-05-18
公开(公告)号: CN217963813U 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 沙彦文;董长海;苏波;孟成;温洋;麦长彪;周小渊;贺俊杰 申请(专利权)人: 宁夏中晶半导体材料有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
代理公司: 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 代理人: 郭红
地址: 755100 宁夏回*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要:
搜索关键词: 一种 酸洗 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种硅料酸洗装置,属于硅料加工技术领域,其技术方案要点包括酸洗装置本体,所述酸洗槽包括呈圆柱状的酸洗槽,所述酸洗槽的顶部安装有缩颈部,所述缩颈部的上端面安装有喇叭口,从而在酸洗的过程中,缩颈部可起到收口的作用,且可挡住酸液外流,同时减少了酸洗篮移出造成酸液浪费,接着通过酸洗篮上的提手摆动酸洗篮,使得酸洗篮带动支撑台和转盘转动,促使转盘稳定酸洗篮转动,可轻松将酸洗篮进行摆动,从而实现硅料酸洗增强了硅料摆动,可将硅料进行充分酸洗,进而提高酸洗表面质量,降低返工率,同时由于酸洗槽采用圆柱体,在同液位情况下可以承装较少酸液,降低酸液初始量。

技术领域

本实用新型涉及硅料加工技术领域,特别涉及一种硅料酸洗装置。

背景技术

硅料直接用于单晶硅拉制,对酸洗硅产品表面杂质的清洗有着至关重要的意义,酸洗工艺是将硅料盛入酸洗框内放在酸洗槽内进行酸洗,酸腐蚀表面的杂质,清除硅料表面污染,使硅表面金属杂质达到电子级质量要求。

目前,现有的硅料酸洗装置为底部和侧面有孔的长方形篮子,将硅料放入酸洗框中,将酸洗框放入盛有酸的槽内酸洗,酸洗存在以下的缺点。

1、酸洗框从酸洗槽移动到水洗槽过程中会带出许多酸液,酸液浪费多。

2、酸洗框在酸洗槽中摆动费力,操作人员酸洗工作强度大。

3、在酸洗硅料的过程中,硅料接触面以及硅料与酸洗篮之间的接触面不能充分酸洗,导致硅块上出现酸斑,酸洗表面不达标,返工率高。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题,提出一种硅料酸洗装置,具有提升硅料酸洗表面质量,减少酸液浪费,降低酸洗人员工作强度的特点。

本实用新型是这样实现的,一种硅料酸洗装置,包括酸洗装置本体,所述酸洗装置本体包括呈圆柱状的酸洗槽,所述酸洗槽的顶部安装有缩颈部,所述缩颈部的上端面安装有喇叭口,所述酸洗槽的内部安装有酸洗篮,所述酸洗篮的外侧壁和底部均贯穿开设有多个均匀分布的通孔;

所述酸洗篮的底端面的中部贯穿开设有卡孔,所述卡孔的内部安装有卡柱,所述卡柱的底端面固定安装有支撑台,所述支撑台的底端面固定安装有转盘,所述转盘的底端面固定安装有转动环。

为了可以挡住酸液外流,减少酸液损耗,作为本实用新型的一种硅料酸洗装置优选的,所述缩颈部与喇叭口呈镜像设置。

为了支撑转盘稳定的转动,作为本实用新型的一种硅料酸洗装置优选的,所述酸洗槽的内部底端面开设有呈环状的滑槽,所述转动环的底部与滑槽滑动连接。

为了便于将酸洗篮放入或拿出酸洗篮内,作为本实用新型的一种硅料酸洗装置优选的,所述酸洗篮外侧壁的上端贯穿开设有两个左右分布的提手,多个所述通孔的直径均为12mm。

为了便于支撑台支撑酸洗篮转动,作为本实用新型的一种硅料酸洗装置优选的,所述支撑台的上端面设置有防滑纹。

为了防止该装置被酸液腐蚀,作为本实用新型的一种硅料酸洗装置优选的,所述酸洗装置本体采用四氟材料。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

该种硅料酸洗装置,使用该装置时,先在酸洗槽内配备酸液,酸液配置好后,将硅料装入酸洗篮内,接着将装好硅料的酸洗篮酸洗槽内,并将其放置在卡柱和支撑台上,此时酸液通过多个通孔可进入至酸洗篮内,对硅料进行酸洗,在酸洗的过程中,缩颈部可起到收口的作用,且可挡住酸液外流,同时减少了酸洗篮移出造成酸液浪费,接着通过酸洗篮上的提手摆动酸洗篮,使得酸洗篮带动支撑台和转盘转动,促使转盘稳定酸洗篮转动,可轻松将酸洗篮进行摆动,从而实现硅料酸洗增强了硅料摆动,可将硅料进行充分酸洗,进而提高酸洗表面质量,降低返工率,同时由于酸洗槽采用圆柱体,在同液位情况下可以承装较少酸液,降低酸液初始量。

附图说明

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