[实用新型]一种硅片分选机料盒智能取放移载机构有效
申请号: | 202221211317.6 | 申请日: | 2022-05-18 |
公开(公告)号: | CN217544558U | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 左国军;廖国友;张亚运 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B07C5/38 |
代理公司: | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人: | 吴昌旭 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 分选 机料盒 智能 取放移载 机构 | ||
本实用新型涉及光伏制造技术领域,尤其涉及一种硅片分选机料盒智能取放移载机构,支架、滑动设置在所述支架上的第一输送部、滑动设置在所述第一输送部上的第二输送部和设置在所述第二输送部上的移载机构,以及,所述移载机构包括适于接取物料部的顶升机构;其中,所述第一输送部适于驱动所述第二输送部沿Y轴移动;所述第二输送部适于驱动所述移载机构沿X轴移动;所述移载机构适于沿Z轴接取所述物料部。本实用新型实现满料盒和空料盒的自由切换,使料盒取放动由繁琐变为简单,稳定性和效率得以提高。
技术领域
本实用新型涉及光伏制造技术领域,尤其涉及一种硅片分选机料盒智能取放移载机构。
背景技术
料盒是在光伏硅片制造时的承接硅片的装置,硅片由前道多种工艺设备处理完成后,硅片的性能会产生差异性,此时通过各种检测设备将硅片性能分为多种类别,不同性能的硅片放置与不用的料盒中,因为类别多,所需的料盒也多,为了快速分选出相同性能的硅片,因此有了分选机,由于种类特别多,料盒装满后,需要快速的取走满料盒,更换新料盒,现有的料盒取放机构比较多,有通过同步带输送线加顶升机构取料盒和放料盒的,也有龙门模组加顶升机构,这些机构结构复杂,动作繁琐,故障率高,不方便装配和维护且制造成本高,很大程度上限制了分选机的可靠性和运行效率,以及成本控制。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了克服上述技术中的技术问题,本实用新型提供了一种硅片分选机料盒智能取放移载机构,包括,
支架、滑动设置在所述支架上的第一输送部、滑动设置在所述第一输送部上的第二输送部和设置在所述第二输送部上的移载机构,以及,所述移载机构包括适于接取物料部的顶升机构;
其中,
所述第一输送部适于驱动所述第二输送部沿Y轴移动;
所述第二输送部适于驱动所述移载机构沿X轴移动;
所述移载机构适于沿Z轴取放所述物料部的料盒。
进一步地,所述第一输送部包括固定设置在所述支架两侧的滑轨、固定设置在所述支架上的齿条一、滑动设置在所述滑轨上的Y底安装板和转动设置在所述Y底安装板上的斜齿轮一,以及,
所述斜齿轮一与电机一传动连接,所述Y底安装板的底部安装有与所述滑轨适配的滑槽,所述斜齿轮一与所述齿条一啮合;
所述第二输送部固定设置在所述Y底安装板上;
其中,
所述电机一驱动所述斜齿轮一转动,以驱动所述Y底安装板移动。
进一步地,所述第二输送部包括固定设置在所述Y底安装板上的导轨和滑动设置在所述导轨上的Z组安装底板,以及,
所述Z组安装底板的底部安装有与所述导轨适配的导向块。
进一步地,所述第二输送部还包括固定在所述Y底安装板上的齿条二,所述Z组安装底板上转动有与所述齿条二啮合的斜齿轮二,其中,
所述斜齿轮二与电机二传动连接,以驱动所述Z组安装底板沿所述导轨长度方向滑动。
进一步地,所述移载机构包括底板和设置在所述移载底板上的同步带机构,以及,
所述同步带机构包括固定设置在所述底板上的电机三、转动设置在所述底板两侧的若干从动轮、分别绕设在所述底板两侧的若干所述从动轮上的同步带和与电机三传动连接的主动轮,以及,
所述从动轮之间通过传动轴传动连接,
所述顶升机构位于两个所述同步带之间;
其中,
所述顶升机构能够位于所述同步带的下方;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造