[实用新型]一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门

权利要求书

1.一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，包括阀体(1)，所述阀体(1)内滑动设有阀芯(2)，所述阀芯(2)设置成球形结构，且所述阀芯(2)中部开设有通孔，所述阀芯(2)一侧设有控制组件，其特征在于，所述阀体(1)外壁固定有加热套(3)，所述阀芯(2)内固定嵌设有电热丝(4)，所述控制组件包括圆筒(5)，所述阀体(1)一侧外壁固定嵌设有圆筒(5)，所述圆筒(5)内滑动设有阀杆(6)，所述阀杆(6)一端与所述阀芯(2)固定连接，所述阀杆(6)另一端开设有矩形滑槽(7)，所述矩形滑槽(7)内滑动设有滑柱(8)，所述滑柱(8)与所述矩形滑槽(7)之间设有限位组件，所述滑柱(8)与所述矩形滑槽(7)底端之间固定有弹簧(9)，所述滑柱(8)远离所述矩形滑槽(7)的一端固定有旋盖(10)，所述旋盖(10)下端的一侧内壁固定有滑块(11)，所述圆筒(5)上端外壁固定套设有环体(12)，所述环体(12)下端外壁开设有与所述滑块(11)相匹配的环形滑槽(13)，所述环形滑槽(13)上端开设有数量为两个的限位槽(14)，且所述限位槽(14)之间的夹角为90°。

2.根据权利要求1所述的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，其特征在于，所述阀体(1)两端的内壁均加工有内螺纹(16)，所述阀体(1)上下两端内壁均固定有与所述阀芯(2)相匹配的限位环(15)。

3.根据权利要求1所述的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，其特征在于，所述电热丝(4)设置成螺旋状，且所述电热丝(4)外壁设置有电绝缘涂层，所述电热丝(4)两端连接有电源线(17)，所述阀杆(6)、所述滑柱(8)和所述旋盖(10)中部均开设有与所述电源线(17)相匹配的线孔。

4.根据权利要求1所述的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，其特征在于，所述限位组件包括第一限位框(18)和第二限位框(19)，所述滑柱(8)伸入所述矩形滑槽(7)内的一端外壁固定套设有第一限位框(18)，所述矩形滑槽(7)上端内壁固定有第二限位框(19)。

5.根据权利要求1所述的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，其特征在于，所述旋盖(10)下端外壁固定套设有固定环(20)，所述旋盖(10)外壁加工有防滑纹。