[实用新型]一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门

说明书

本实用新型公开了一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，包括阀体，所述阀体内滑动设有阀芯，所述阀芯设置成球形结构，且所述阀芯中部开设有通孔，所述阀芯一侧设有控制组件，所述阀体外壁固定有加热套，所述阀芯内固定嵌设有电热丝，所述控制组件包括圆筒，所述阀体一侧外壁固定嵌设有圆筒，所述圆筒内滑动设有阀杆。本阀门能够利用加热套和电热丝对阀体的内部进行加热，使得阀体内的温度分部较为均匀，使得气体到阀门时就不会凝固，仍然保持气体状态并排出，并且能够便于在将阀门打开或者闭合时能够对阀芯进行固定，从而能够防止阀芯发生转动导致阀门打开不彻底或者闭合不严。

技术领域

本实用新型涉及阀门技术技术领域，具体来说，涉及一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门。

背景技术

在半导体设备中，直通阀作为一种阀门经常用于薄膜设备中，例如LAM ALTUS系列、AMAT ENDURA等等，在半导体设备中主要用来控制燃烧室压力，使腔体稳定在需要的压力下，便于DEP进行。在真空腔体中，当需要稳定在一定压力中，既可以通过流入气体的量来使压力身高，到一定压力时就需要打开直通阀角度来抽走多余的气体，这样压力就保持在一定数值，直通阀角度范围是0-90°，0°即为关闭状态，90°即为完全打开状态，0-90°的范围即可以根据压力表反馈的压力来调整相应的角度。

直通阀主要包括下面几个方面：阀体、控制组件、阀芯、阀杆等组件构成。

由于在腔体中经常性连续工作，环境状态差，产生的多余物质会通过直通阀抽出腔体,这样就会使直通阀的阀芯以及直通阀的边缘处产生凝固，凝固的固体也会导致P.TSOURCE使工艺产生问题，另外长时间积累会导致阀芯和阀杆转动异常，0-90°不能准确的设定，使腔体内压力异常。

为解决直通阀产生凝固的固体的问题，现在通行办法是在直通阀的外面包裹一层加热带，这样气体在通过直通阀的时候不容易产生固体，即利用气体的凝固点原理，但是该方法效果不是很好，尤其在阀芯与阀体的连接处以及阀芯内部还是容易产生固体。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门包括阀体，所述阀体内滑动设有阀芯，所述阀芯设置成球形结构，且所述阀芯中部开设有通孔，所述阀芯一侧设有控制组件，所述阀体外壁固定有加热套，所述阀芯内固定嵌设有电热丝，所述控制组件包括圆筒，所述阀体一侧外壁固定嵌设有圆筒，所述圆筒内滑动设有阀杆，所述阀杆一端与所述阀芯固定连接，所述阀杆另一端开设有矩形滑槽，所述矩形滑槽内滑动设有滑柱，所述滑柱与所述矩形滑槽之间设有限位组件，所述滑柱与所述矩形滑槽底端之间固定有弹簧，所述滑柱远离所述矩形滑槽的一端固定有旋盖，所述旋盖下端的一侧内壁固定有滑块，所述圆筒上端外壁固定套设有环体，所述环体下端外壁开设有与所述滑块相匹配的环形滑槽，所述环形滑槽上端开设有数量为两个的限位槽，且所述限位槽之间的夹角为90°。

进一步的，所述阀体两端的内壁均加工有内螺纹，所述阀体上下两端内壁均固定有与所述阀芯相匹配的限位环。

进一步的，所述电热丝设置成螺旋状，且所述电热丝外壁设置有电绝缘涂层，所述电热丝两端连接有电源线，所述阀杆、所述滑柱和所述旋盖中部均开设有与所述电源线相匹配的线孔。

进一步的，所述限位组件包括第一限位框和第二限位框，所述滑柱伸入所述矩形滑槽内的一端外壁固定套设有第一限位框，所述矩形滑槽上端内壁固定有第二限位框。

进一步的，所述旋盖下端外壁固定套设有固定环，所述旋盖外壁加工有防滑纹。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：