[实用新型]一种微型伯努利吸头有效
| 申请号： | 202221289243.8 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN217387125U | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 丁飞;王启东;戴风伟;曹立强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 程虹 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微型 伯努利 吸头 | ||
1.一种微型伯努利吸头，其特征在于，包括进气通道、喇叭型腔、喷流盘和多个凸起；
所述进气通道的出气口与喇叭型腔的进气口连接，所述喷流盘和凸起设于喇叭型腔的进气口处，所述凸起设于喷流盘朝向喇叭型腔进气口的一面；
所述凸起的一端与喷流盘连接，所述凸起的另一端与喇叭型腔的内壁连接。
2.根据权利要求1所述的微型伯努利吸头，其特征在于，所述进气通道的纵截面的形状为L形，包括第一通道和第二通道；
所述第一通道的进气端与供气单元连接，所述第一通道的出气端与第二通道的进气端连接，所述第二通道的出气端与喇叭型腔连接。
3.根据权利要求2所述的微型伯努利吸头，其特征在于，所述第一通道的轴线与喇叭型腔的轴线垂直，所述第二通道与喇叭型腔同轴设置。
4.根据权利要求1所述的微型伯努利吸头，其特征在于，所述喷流盘的直径为3.0～3.2mm，厚度为0.4～0.6mm。
5.根据权利要求1所述的微型伯努利吸头，其特征在于，所述凸起的横截面的形状为圆形。
6.根据权利要求5所述的微型伯努利吸头，其特征在于，相邻两个凸起的间隙宽度为0.5～0.6mm，间隙高度为0.5～0.6mm。
7.根据权利要求1所述的微型伯努利吸头，其特征在于，所述凸起的横截面的形状为连续的弧形。
8.根据权利要求7所述的微型伯努利吸头，其特征在于，所述凸起的数量为4个，所述喷流盘具有相互垂直的两条直径线；所述凸起的第一端与其中一条直径线的交点与喷流盘的圆点之间的距离大于凸起的第二端与另一条直径线的交点与喷流盘的圆点之间的距离。
9.根据权利要求8所述的微型伯努利吸头，其特征在于，相邻两个凸起中，与同一直径线相交的第一端和第二端之间的距离为0.3～0.4mm。
10.根据权利要求1至9任一项所述的微型伯努利吸头，其特征在于，所述微型伯努利吸头的直径为5～100mm，高度为4～6mm。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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