[实用新型]一种蒸发坩埚及电子束蒸发卷绕镀膜设备

权利要求书

1.一种蒸发坩埚，包括底座(1)和设于底座(1)的锅体(2)，其特征在于：底座(1)设有驱动机构(3)和水冷盖板(11)，该驱动机构(3)连接有转臂(31)和转轴(32)，驱动机构(3)驱动转轴(32)转动，转轴(32)带动转臂(31)转动，转臂(31)与水冷盖板(11)连接、带动水冷盖板(11)绕转轴(32)运动，使水冷盖板(11)与底座(1)分开或盖在底座(1)上。

2.根据权利要求1所述的蒸发坩埚，其特征在于：锅体(2)内部设有可输入冷却水的冷却腔室(21)。

3.根据权利要求1所述的蒸发坩埚，其特征在于：水冷盖板(11)内部设有可输入冷却水的冷却水通道(111)。

4.根据权利要求1所述的蒸发坩埚，其特征在于：驱动机构(3)包括气缸(33)、齿条(34)和转动齿轮(35)，气缸(33)的输出轴与齿条(34)连接，齿条(34)与转动齿轮(35)啮合连接，转动齿轮(35)与转轴(32)连接。

5.一种电子束蒸发卷绕镀膜设备，其特征在于：包括上述权利要求1至4任一项所述的蒸发坩埚(1a)。

6.根据权利要求5所述的电子束蒸发卷绕镀膜设备，其特征在于：包括真空容器(4)、设于真空容器(4)内的放卷系统(5)、镀膜辊(6)及收卷系统(7)，镀膜基材从放卷系统(5)输出，绕过镀膜辊(6)后复卷在收卷系统(7)上，蒸发坩埚(1a)设于镀膜辊(6)的下方。

7.根据权利要求6所述的电子束蒸发卷绕镀膜设备，其特征在于：真空容器(4)的侧壁设有电子枪(8)，电子枪(8)发出的电子束射向蒸发坩埚(1a)的锅体(2)上。

8.根据权利要求6所述的电子束蒸发卷绕镀膜设备，其特征在于：真空容器(4)上设有真空抽气系统(9)。