[实用新型]高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备

权利要求书

1.一种高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：包括真空吸附台、真空腔体和移动支撑件；

所述真空吸附台位于所述真空腔体上方，所述真空吸附台为板状，并与所述真空腔体之间形成真空腔；

所述真空腔体设置有限位孔；

所述移动支撑件包括支撑柱，所述支撑柱穿过所述限位孔与所述真空吸附台连接。

2.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述支撑柱与所述限位孔之间密封连接。

3.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述支撑柱的周面设置有台阶，所述限位孔的边缘位于所述台阶上。

4.根据权利要求3所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述台阶为环绕所述支撑柱的环状，所述台阶上设置有密封圈，所述密封圈压紧在所述台阶与所述限位孔的边缘之间。

5.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述真空腔体包括底板和挡条，所述挡条沿所述底板的边缘围成环形，所述底板、所述挡条及所述真空吸附台围合形成所述真空腔，所述限位孔设置在所述底板上。

6.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述真空腔体的表面设置凹槽，所述真空吸附台位于所述凹槽开口处，并在所述凹槽内形成所述真空腔。

7.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述真空吸附台设置有吸附孔；所述吸附孔连通所述真空吸附台的上下表面，所述支撑柱上位于所述真空腔内的部分设置有连通孔，所述连通孔连通所述吸附孔与所述真空腔。

8.根据权利要求7所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述连通孔包括竖向连通孔及横向连通孔，所述支撑柱上与所述真空吸附台接触的顶面设置有所述竖向连通孔，所述支撑柱位于真空腔内的部分的侧壁设置有所述横向连通孔，所述竖向连通孔与所述横向连通孔连通。

9.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述高精度可移动真空吸附平台还包括真空接口，所述真空接口位于所述真空腔外，并通过真空通道连通至所述真空腔，所述真空接口用于排出所述真空腔内气体；

所述真空接口设置于所述真空腔体的外壁，所述真空通道设置于所述真空腔体；或者，所述真空接口设置于所述支撑柱，所述真空通道设置于所述支撑柱。

10.一种高精度检测设备，其特征在于：包括导轨和权利要求1至权利要求9任一项所述的高精度可移动真空吸附平台，所述高精度可移动真空吸附平台连接在导轨上。