[实用新型]高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备

说明书

本实用新型提供一种高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备。高精度可移动真空吸附平台包括真空吸附台、真空腔体和移动支撑件，真空吸附台位于真空腔体上方，真空吸附台为板状，并与真空腔体之间形成真空腔，真空腔体设置有限位孔，移动支撑件包括支撑柱，支撑柱穿过限位孔与真空吸附台连接。高精度检测设备包括前述的高精度可移动真空吸附平台及导轨，该高精度可移动真空吸附平台连接在导轨上。本实用新型提供的高精度可移动真空吸附平台通过支撑柱穿过限位孔直接与移动支撑件连接，仅移动支撑件和真空吸附台这两个部件需要很高的精确度，真空腔体的精度要求降低，从而降低了加工成本，更容易实现高精度。

技术领域

本实用新型涉及检测设备领域，特别涉及一种高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备。

背景技术

现有设计中，在高精度检测场合，真空吸附平台装配后的台面的平面度以及相对于底座的平行度要求很高，为保证装配后的精确度，对影响精确度的零件都有很高的加工要求，组装的难度及零件加工成本都直线上升。

传统真空吸附平台由真空吸附台、真空腔体及移动支撑件三者叠加而成，组装精度由这三个部件决定，其中由于真空腔体为腔体结构，容易变形，在精确度方面更难以保证。

实用新型内容

本实用新型提供一种高精度可移动真空吸附平台，能够降低零件加工成本、且更容易实现高精度。

本实用新型的技术方案为：

一方面，本实用新型提供了高精度可移动真空吸附平台，包括真空吸附台、真空腔体和移动支撑件；

所述真空吸附台位于所述真空腔体上方，所述真空吸附台为板状，并与与所述真空腔体之间形成真空腔；

所述真空腔体设置有限位孔；

所述移动支撑件包括支撑柱，所述支撑柱穿过所述限位孔与所述真空吸附台连接。

其中，所述支撑柱与所述限位孔之间密封连接。

其中，所述支撑柱的周面设置有台阶，所述限位孔的边缘位于所述台阶上；

其中，所述台阶为环绕所述支撑柱的环状，所述台阶上设置有密封圈，所述密封圈压紧在所述台阶与所述限位孔的边缘之间。

其中，所述真空腔体包括底板和挡条，所述挡条沿所述底板的边缘围成环形，所述底板、所述挡条及所述真空吸附台围合形成所述真空腔，所述限位孔设置在所述底板上。

其中，所述真空腔体的表面设置凹槽，所述真空吸附台位于所述凹槽开口处，并在所述凹槽内形成所述真空腔。

其中，所述真空吸附台设置有吸附孔；所述吸附孔连通所述真空吸附台的上下表面，所述支撑柱上位于所述真空腔内的部分设置有连通孔，所述连通孔连通所述吸附孔与所述真空腔。

其中，所述连通孔包括竖向连通孔及横向连通孔，所述支撑柱上与所述真空吸附台接触的顶面设置有所述竖向连通孔，所述支撑柱位于真空腔内的部分的侧壁设置有所述横向连通孔，所述竖向连通孔与所述横向连通孔连通。

其中，所述高精度可移动真空吸附平台还包括真空接口，所述真空接口位于所述真空腔外，并通过真空通道连通至所述真空腔，所述真空接口用于排出所述真空腔内气体；

所述真空接口设置于所述真空腔体的外壁，所述真空通道设置于所述真空腔体；或者，所述真空接口设置于所述支撑柱，所述真空通道设置于所述支撑柱。

另一方面，本实用新型提供了一种高精度检测设备，包括导轨和前述的高精度可移动真空吸附平台，所述高精度可移动真空吸附平台连接在导轨上。