[实用新型]AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环

权利要求书

1.AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：包括边缘环(1)；

所述边缘环(1)设置为环状，所述边缘环(1)的外径为347.84mm，所述边缘环(1)的内径为296.55mm；

所述边缘环(1)的厚度为40.00mmm；

所述边缘环(1)的底端侧边壁厚为2.72mm，且所述边缘环(1)此处壁厚向上20.65mm处壁厚逐渐变宽至3.23mm，变厚位置长度为0.72mm；

所述边缘环(1)的上表面向内20.00mm处设置呈45°向内倾斜状且倾斜部分厚度为2.72mm，所述边缘环(1)上表面向内倾斜处向下厚度2.67mm处设置有45°倾斜角；

所述边缘环(1)上45°倾斜角处向下设置有60°向外倾斜。

2.根据权利要求1所述的AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：所述边缘环(1)的外径误差范围为+/-10％；

所述边缘环(1)的内径误差范围为+/-10％。

3.根据权利要求1所述的AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：所述边缘环(1)的侧边壁底端边角处做倒角处理且倒角半径为0.76mm；

所述边缘环(1)的侧边壁顶端边角处做倒角处理且倒角半径为1.52mm。

4.根据权利要求1所述的AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：所述边缘环(1)侧边壁厚变化处的两个边角处均做倒角处理且倒角的半径均为0.25mm。

5.根据权利要求1所述的AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：所述边缘环(1)壁厚为3.23mm处向上10.48mm处设置有倒角且倒角半径为0.76mm。

6.根据权利要求1所述的AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：所述边缘环(1)上表面向内倾斜处的俩个边角处均做倒角处理且倒角半径为0.76mm。

7.根据权利要求1所述的AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：所述边缘环(1)上表面倾斜角处做倒角处理且倒角半径为0.57mm。

8.根据权利要求1所述的AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，其特征在于：所述边缘环(1)上表面60°向外倾斜处的两个边角均做倒角处理且倒角半径均为0.51mm。