[实用新型]AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环

说明书

AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，所述边缘环设置为环状，所述边缘环的外径为347.84mm，所述边缘环的内径为296.55mm；相比于传统的设计，本方案省去用三颗螺丝固定的麻烦，保养人员更省事省时，缩短了时间，提高了设备生产的时间，提高了设备利用率；本方案的边缘环比较厚，加工难度降低，不容易在高温下变形，杜绝了高温造成内侧变形翘起，晶圆被顶起而导致受热不均现象，从而改善了CVD氮化钛工艺的厚度均匀性问题，解决了设备报警，产品报废问题；本产品的清洗次数也有提升，提升了零件寿命，降低了成本；原有设计两个贴合不紧处易累积颗粒，而本产品完全不存在此问题，减少了颗粒的产生，提高了产品品质。

技术领域

本实用新型涉及边缘环技术领域，具体为AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环。

背景技术

AMAT Endura2 300MM TXZ CHAMBER CVD氮化钛工艺依靠边缘环均匀导气而使工艺厚度达到均匀。而边缘环随着跑货量的增加，累积的厚度也会增加，到达一定寿命需要拆除并送出脱膜清洗。

AMAT原有设计是用两个薄圆环通过3颗螺丝锁在一起组成边缘环，再安装在加热器上。但由于两个圆环比较薄，特别是铝环内侧很薄，随着清洗次数增加，内侧会越来越薄，而在高温下，容易造成内侧变形翘起，晶圆被顶起而导致受热不均，从而造成厚度均匀度问题影响工艺效果，或设备工艺报警，甚至产品报废，为此，我们提出AMAT 300MM TXZCHAMBER新型边缘环。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环，包括边缘环；

所述边缘环设置为环状，所述边缘环的外径为347.84mm，所述边缘环的内径为296.55mm；

所述边缘环的厚度为40.00mmm；

所述边缘环的底端侧边壁厚为2.72mm，且所述边缘环此处壁厚向上20.65mm处壁厚逐渐变宽至3.23mm，变厚位置长度为0.72mm；

所述边缘环的上表面向内20.00mm处设置呈45°向内倾斜状且倾斜部分厚度为2.72mm，所述边缘环上表面向内倾斜处向下厚度2.67mm处设置有45°倾斜角；

所述边缘环上45°倾斜角处向下设置有60°向外倾斜。

优选的，所述边缘环的外径误差范围为+/-10％；

所述边缘环的内径误差范围为+/-10％。

优选的，所述边缘环的侧边壁底端边角处做倒角处理且倒角半径为0.76mm；

所述边缘环的侧边壁顶端边角处做倒角处理且倒角半径为1.52mm。

优选的，所述边缘环侧边壁厚变化处的两个边角处均做倒角处理且倒角的半径均为0.25mm。

优选的，所述边缘环壁厚为3.23mm处向上10.48mm处设置有倒角且倒角半径为0.76mm。

优选的，所述边缘环上表面向内倾斜处的俩个边角处均做倒角处理且倒角半径为0.76mm。

优选的，所述边缘环上表面倾斜角处做倒角处理且倒角半径为0.57mm。

优选的，所述边缘环上表面60°向外倾斜处的两个边角均做倒角处理且倒角半径均为0.51mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：